Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Freitas, Wilson José, 1962-
Data de Publicação: 2020
Tipo de documento: Tese
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1640466
Resumo: Orientador: Leandro Tiago Manera
id UNICAMP-30_cbebef6f80762412c04f34a4c6c5c29d
oai_identifier_str oai::1161211
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondasIntegrated inductors on kapton flexible substrate for radiofrequency and microwave heterogeneous integrationBobinasCircuitos integradosIndutores elétricos - Projetos e construção - Manuais, guias, etc.CoilsIntegrated CircuitsElectric inductors - ManufacturingOrientador: Leandro Tiago ManeraTese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Elétrica e de ComputaçãoResumo: Foi desenvolvida uma tecnologia simples e original baseada em um substrato flexível de Kapton sobre o qual foram fabricados indutores integrados de alto rendimento,utilizando-se pela primeira vez deposição eletrolítica para formação das linhas metálicas com ouro e lift-off para formar as áreas de dielétrico com óxido de silício. Foram obtidas indutâncias na faixa de 0,8 nH a 3,5 nH, densidade de indutância de até 49 nH/mm 2 e fator de qualidade máximo de 9, com frequência de ressonância acima de 20 GHz e frequência de operação de até 13 GHz. Esses resultados estão entre os melhores já relatados na literatura e são adequados à utilização na integração heterogênea de circuitos de mixers, filtros, amplificadores de baixo ruído e osciladores para aplicações nas faixas de rádio-frequência e micro-ondas. O uso adequado de camadas de adesão mostrou não ser necessária a preparação da superfície do substrato flexível para melhorar a aderência dos filmes depositados. A análise de falhas e o desenvolvimento de um novo método de avaliação de confiabilidade denominado "Teste de Flexão Cíclico Funcional" demonstraram que não houve problemas relacionados à utilização do substrato flexível de Kapton, comprovando o desenvolvimento de uma tecnologia de fabricação robusta, obtida de maneira simples, barata e reprodutível, com potencial de melhoria através da otimização dos parâmetros do processoAbstract: A simple and original technology was developed based on a Kapton flexible substrate on which integrated high-performance inductors were manufactured, using for the first time electrolytic deposition for the formation of metallic lines with gold and lift-off to form the dielectric areas with silicon oxide. Inductances in the range of 0.8 nH to 3.5 nH, inductance density of up to 49 nH/mm 2 and maximum quality factor of 9 were obtained, with resonance frequency above 20 GHz and operating frequency up to 13 GHz. These results are among the best reported in the literature and are suitable for use in the heterogeneous integration of mixer circuits, filters, low noise amplifiers, and oscillators for applications in the radio frequency and microwave ranges. The proper use of adhesion layers showed that it is not necessary to prepare the surface of the flexible substrate to improve the adhesion of the deposited films. Failure analysis and the development of a new reliability assessment method called "Functional Cyclic Bending Test" demonstrated that there were no problems related to the use of the Kapton flexible substrate, proving the development of a robust manufacturing technology, obtained in a simple, cheap and reproducible way, with potential for improvement through the optimization of process parametersDoutoradoEletrônica, Microeletrônica e OptoeletrônicaDoutor em Engenharia Elétrica[s.n.]Manêra, Leandro Tiago, 1977-Cima, Carlos AlbertoZanin, Hudson GiovaniDiniz, José AlexandreRotondaro, Luís Antônio PachecoUniversidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de ComputaçãoPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASFreitas, Wilson José, 1962-20202020-12-02T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdf1 recurso online ( 138 p.) : il., digital, arquivo PDF.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1640466FREITAS, Wilson José. Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas . 2020. 1 recurso online ( 138 p.) Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1640466. Acesso em: 3 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/1161211Requisitos do sistema: Software para leitura de arquivo em PDFporreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2021-02-26T10:35:42Zoai::1161211Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2021-02-26T10:35:42Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas
Integrated inductors on kapton flexible substrate for radiofrequency and microwave heterogeneous integration
title Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas
spellingShingle Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas
Freitas, Wilson José, 1962-
Bobinas
Circuitos integrados
Indutores elétricos - Projetos e construção - Manuais, guias, etc.
Coils
Integrated Circuits
Electric inductors - Manufacturing
title_short Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas
title_full Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas
title_fullStr Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas
title_full_unstemmed Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas
title_sort Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas
author Freitas, Wilson José, 1962-
author_facet Freitas, Wilson José, 1962-
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Manêra, Leandro Tiago, 1977-
Cima, Carlos Alberto
Zanin, Hudson Giovani
Diniz, José Alexandre
Rotondaro, Luís Antônio Pacheco
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação
Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Freitas, Wilson José, 1962-
dc.subject.por.fl_str_mv Bobinas
Circuitos integrados
Indutores elétricos - Projetos e construção - Manuais, guias, etc.
Coils
Integrated Circuits
Electric inductors - Manufacturing
topic Bobinas
Circuitos integrados
Indutores elétricos - Projetos e construção - Manuais, guias, etc.
Coils
Integrated Circuits
Electric inductors - Manufacturing
description Orientador: Leandro Tiago Manera
publishDate 2020
dc.date.none.fl_str_mv 2020
2020-12-02T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
format doctoralThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12733/1640466
FREITAS, Wilson José. Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas . 2020. 1 recurso online ( 138 p.) Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1640466. Acesso em: 3 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1640466
identifier_str_mv FREITAS, Wilson José. Indutores integrados em substrato flexível de kapton para integração heterogênea em radiofrequência e micro-ondas . 2020. 1 recurso online ( 138 p.) Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1640466. Acesso em: 3 set. 2024.
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/1161211
Requisitos do sistema: Software para leitura de arquivo em PDF
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
1 recurso online ( 138 p.) : il., digital, arquivo PDF.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809189169301291008

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