Automação de uma linha, em escala de laboratorio, para destilação de clorosilanos utilizados em microeletronica

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Lacerda, Carlos Roberto
Data de Publicação: 1985
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579155
Resumo: Orientadores : Rezende Gomes dos Santos, Antonio Celso Fonseca de Arruda e Amauri Garcia
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