Estudo do uso de substratos de silício para fabricação de microsensores de posição

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Ibrahim, Ricardo Cury
Data de Publicação: 2004
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da USP (Biblioteca Digital da Produção Intelectual)
Texto Completo: http://www.usp.br/siicusp/12osiicusp/index01.htm
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