Montagem e caracterização do sistema de deposição assistida por feixe de íons

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Meira, A O R
Data de Publicação: 2006
Tipo de documento: Artigo
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da USP (Biblioteca Digital da Produção Intelectual)
Texto Completo: http://www.sbvacuo.org.br/rbav/revistavol253/25_3_131.pdf
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