Nano-structured diamond-like carbon films obtained by high density plasma chemical vapor deposition

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Salvadori, Maria Cecília Barbosa da Silveira
Data de Publicação: 2008
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da USP (Biblioteca Digital da Produção Intelectual)
Texto Completo: http://www.sbf1.sbfisica.org.br/eventos/enfmc/xxxi/sys/resumos/R0145-3.pdf
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