Estudo de difusão de alumínio em ligas amorfas de carbono-silício.

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Salazar, Robinson Oliva
Data de Publicação: 2001
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
Texto Completo: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25092024-141317/
Resumo: Nesta dissertação discorremos acerca da difusão de alumínio em filmes finos de carbeto de silício amorfo (a-Si1-xCx: H) quase estequiométricos, crescidos pela técnica de deposição química a vapor assistida por plasma (PECVD) a partir da mistura gasosa silana e metano. Foram estudadas dois tipos de amostras; no primeiro a mistura dos gases não foi diluída em hidrogênio entanto que no segundo tipo este foi diluída. Os resultados da análise das propriedades ópticas, estruturais e composicionais destes filmes submetidos a tratamentos térmicos em diversas temperaturas mostram a influência do alumínio nos dois tipos de filmes promovendo a cristalização. Observa-se também que nas amostras depositadas sem diluição a temperatura de cristalização é mais baixa. Os resultados da caracterização óptica e estrutural mostram também que os mecanismos pelos quais o hidrogênio se incorpora nos dois tipos de filmes é muito diferente.
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