Influência do Crescimento Epitaxial Seletivo (SEG) em transistores SOI de porta tripla de canal N tensionado.

• Autor(a) principal: Pacheco, Vinicius Heltai
• Data de Publicação: 2011
• Tipo de documento: Dissertação
• Idioma: por
• Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
• Texto Completo: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26082011-145154/
• topic: MuGFET; MuGFET; SEG; SEG; SOI MOSFET; SOI MOSFET; Strained; Strained; Transcondutance; Transcondutânica

Este trabalho apresenta um estudo da influência do crescimento epitaxial seletivo (SEG) em dispositivos tensionados mecanicamente (strain) em transistores SOI MuGFET de porta tripla. Com a evolução da tecnologia de integração de transistores, alguns efeitos parasitários são eliminados ou diminuídos, porém outros novos surgem. A tecnologia SOI MuGFETs disponibiliza dispositivos de múltiplas portas, tridimensionais. Nesses dispositivos, há um aumento da resistência de contato dos terminais devido ao estreitamento da região de canal, tornando esta resistência significativa em relação à resistência total. A utilização do Crescimento Epitaxial Seletivo (SEG) é uma das opções para diminuir a resistência total, elevando a região de fonte e dreno, causando o aumento da área de contato, diminuindo essa resistência parasitária. Em contrapartida, a utilização dos canais tensionados Uniaxiais, por filme de Si3N4, pela técnica de CESL, que é uma opção de melhora da transcondutância, mas em conjunto com o SEG afasta essa a camada de nitreto, tornando em determinada altura prejudicial ao invés de benéfico. Este trabalho foi realizado baseado em resultados experimentais e em simulações numéricas, mecânicas e elétricas de dispositivos, variando as tecnologias de tensionamento mecânico nos dispositivos com e sem SEG. Variou-se a altura do SEG em simulações, possibilitando extrapolar e obter resultados que de forma experimental não foram possíveis, permitindo um entendimento físico do fenômeno estudado. O resultados obtidos das diferentes tecnologias com e sem o uso de SEG mostraram que, em transistores SOI MuGFETs de porta tripla, o crescimento seletivo epitaxial nos dispositivos com tensão uniaxial piora a transcondutância máxima para dispositivos abaixo de 200nm de comprimento de canal, mas em contra partida torna mais prolongado o efeito pelos dispositivos acima dessa dimensão, como pode ser comprovado nos resultados obtidos.