Um algoritmo para comando de uma mesa de microposicionamento angular usando interferometria

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Santos, Daniela Lara dos
Data de Publicação: 1997
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
Texto Completo: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18135/tde-19072024-095047/
Resumo: Esse trabalho descreve o desenvolvimento de um sistema de monitoramento de microinclinação capaz de posicionar peças ou outros dispositivos em máquinas precisão e ultra-precisão. A inclinação da mesa tem acionamento através de microposicionadores (por exemplo, atuadores piezoelétricos) cujo deslocamento é monitorado por um interferômetro de Fizeau. A imagem da peça é analisada usando a técnica de crescimento de regiões, a qual calcula o número e a direção das franjas. O algoritmo é aplicado para fornecer o sinal de realimentação para os atuadores para a correção da posição da mesa. Este procedimento pode ser usado para componentes de usinagem de ultra-precisão e para o controle durante o processo obtendo alto nível de precisão em usinagem de ultra-precisão
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