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1
Structural and Mechanical Properties of Zr-Si-N Thin Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering
por
Freitas
,
Flávio
Gustavo
Ribeiro
Publicado em 2015
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Artigo
2
Influência do teor de silício em filmes finos de nitreto de zircônio depositados por magnetron sputtering reativo
por
Freitas
,
Flávio
Gustavo
Ribeiro
Publicado em 2016
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