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1
Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD.
por
Paez
Carreño
,
Marcelo
Nelson
Publicado em 1994
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Tese
2
Software de simulação dos processos de micro-fabricação para desenvolvimento de MEMS
por
Paez
Carreño
,
Marcelo
Nelson
Publicado em 2005
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Artigo de conferência
3
Micromotores eletrostáticos obtidos por microusinagem de superfície
por
Paez
Carreño
,
Marcelo
Nelson
Publicado em 2005
Acessar documento
Artigo de conferência
4
Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS
por
Paez
Carreño
,
Marcelo
Nelson
Publicado em 2005
Acessar documento
Artigo de conferência
5
Aerogel de SiO2 crescido por processos a plasma
por
Paez
Carreño
,
Marcelo
Nelson
Publicado em 2002
Acessar documento
Artigo de conferência
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