Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Paez Carreño, Marcelo Nelson
Data de Publicação: 2005
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da USP (Biblioteca Digital da Produção Intelectual)
Texto Completo: http://www.usp.br/siicusp/13osiicusp/aprovados/index01.htm
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