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1
Desenvolvimento de filmes de silicio-germanio para aplicações em dispositivos MOS
por
Teixeira
,
Ricardo
Cotrin
Publicado em 2006
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Tese
2
Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino
por
Teixeira
,
Ricardo
Cotrin
Publicado em 2001
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