Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Teixeira, Ricardo Cotrin
Data de Publicação: 2001
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1590300
Resumo: Orientador : Ioshiaki Doi
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