DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: NELSON TAKASHI YUNAKA
Data de Publicação: 1995
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
id BRCRIS_1a04a771be77e87e42824893fc063c30
network_acronym_str CAPES
network_name_str Portal de Dados Abertos da CAPES
dc.title.pt-BR.fl_str_mv DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
title DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
spellingShingle DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
NELSON TAKASHI YUNAKA
title_short DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
title_full DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
title_fullStr DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
title_full_unstemmed DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
title_sort DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.
publishDate 1995
format masterThesis
author_role author
author NELSON TAKASHI YUNAKA
author_facet NELSON TAKASHI YUNAKA
dc.contributor.authorLattes.fl_str_mv http://lattes.cnpq.br/9053823753467068
dc.contributor.advisor1.fl_str_mv HOMERO SANTIAGO MACIEL
dc.contributor.advisor1Lattes.fl_str_mv http://lattes.cnpq.br/6357563570334700
dc.publisher.none.fl_str_mv UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO
publisher.none.fl_str_mv UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO
instname_str UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO
reponame_str Portal de Dados Abertos da CAPES
collection Portal de Dados Abertos da CAPES
spelling CAPESPortal de Dados Abertos da CAPESDESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.1995masterThesisauthorNELSON TAKASHI YUNAKAhttp://lattes.cnpq.br/9053823753467068HOMERO SANTIAGO MACIELhttp://lattes.cnpq.br/6357563570334700UNIVERSIDADE DE SÃO PAULOUNIVERSIDADE DE SÃO PAULOUNIVERSIDADE DE SÃO PAULOPortal de Dados Abertos da CAPESPortal de Dados Abertos da CAPES
identifier_str_mv YUNAKA, NELSON TAKASHI. DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.. 1995. Tese.
dc.identifier.citation.fl_str_mv YUNAKA, NELSON TAKASHI. DESENVOLVIMENTO DE UM PROCESSO LITOGRAFICO PARA MICROELETRONICA.. 1995. Tese.
_version_ 1741885974565093376