Efeitos do ânodo em uma descarga magnetron sputtering: mudanças nas curvas de histerese e na relação corrente-tensão

Detalhes bibliográficos
Principais autores: KLEBER ALEXANDRE PETROSKI, Kleber Alexandre Petroski
Data de Publicação: 2018
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
Texto Completo: https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=6398010
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Curva de histerese, curvas corrente-tensão, modelo de Berg, grid-assisted magnetron sputtering.
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