Filmes finos depositados pela técnica de Implantação Iônica por Imersão em Plasma e Deposição (IIIPD), utilizando o monômero HMDSN e os gases argônio, hélio e nitrogênio.

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: FELIPE VICENTE DE PAULA KODAIRA
Data de Publicação: 2016
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
Texto Completo: https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=3159180
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PIIID, Hexamethyldisilazane, Thin Films, Plasma Polymers.
IIIPD, Hexametildisilazano, Filmes Finos, Polímeros a Plasma.
FELIPE VICENTE DE PAULA KODAIRA
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