Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Luis da Silva Zambom
Data de Publicação: 2000
Tipo de documento: Tese
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
id BRCRIS_78a379e6cd01bf7706ee330a31ef90ae
network_acronym_str CAPES
network_name_str Portal de Dados Abertos da CAPES
dc.title.pt-BR.fl_str_mv Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
title Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
spellingShingle Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
Luis da Silva Zambom
title_short Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
title_full Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
title_fullStr Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
title_full_unstemmed Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
title_sort Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente
publishDate 2000
format doctoralThesis
author_role author
author Luis da Silva Zambom
author_facet Luis da Silva Zambom
dc.contributor.authorLattes.fl_str_mv http://lattes.cnpq.br/4236800519243308
dc.identifier.orcid.none.fl_str_mv https://orcid.org/000000027378186X
dc.contributor.advisor1.fl_str_mv RONALDO DOMINGUES MANSANO
ROGERIO FURLAN
dc.contributor.advisor1Lattes.fl_str_mv http://lattes.cnpq.br/0585241146363499
http://lattes.cnpq.br/5052583113565041
dc.contributor.advisor1orcid.por.fl_str_mv https://orcid.org/0000000295671813
dc.publisher.none.fl_str_mv UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO
publisher.none.fl_str_mv UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO
instname_str UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO
reponame_str Portal de Dados Abertos da CAPES
collection Portal de Dados Abertos da CAPES
spelling CAPESPortal de Dados Abertos da CAPESObtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamenteObtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamenteObtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamenteObtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamenteObtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamenteObtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamenteObtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente2000doctoralThesisauthorLuis da Silva Zambomhttp://lattes.cnpq.br/4236800519243308https://orcid.org/000000027378186XRONALDO DOMINGUES MANSANOhttp://lattes.cnpq.br/0585241146363499https://orcid.org/0000000295671813UNIVERSIDADE DE SÃO PAULOUNIVERSIDADE DE SÃO PAULOUNIVERSIDADE DE SÃO PAULOPortal de Dados Abertos da CAPESPortal de Dados Abertos da CAPES
identifier_str_mv Zambom, Luis da Silva. Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente. 2000. Tese.
dc.identifier.citation.fl_str_mv Zambom, Luis da Silva. Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente. 2000. Tese.
_version_ 1741890986563338240

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