Formação e Caracterização de Filmes de Nitreto de Silício por Deposição Química Assistida por Plasma Acoplado Indutivamente.

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: WILMER ALEXE SUCASAIRE MAMANI
Data de Publicação: 2002
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
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