Estudo dos parâmetros de deposição de filme de carbono amorfo tipo diamante DLC via reator automatizado visando repetibilidade e rastreabilidade de resultados tribológicos

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: FERNANDA LIDIA CARVALHO LUCAS
Data de Publicação: 2014
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
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Carbono amorfo tipo diamante, tribologia, PECVD.
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