Estudo do potencial de um novo processo para mapeamento da concentração de impurezas dopantes em folhas de silício

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Vivaldo, Catarina Alexandra Simões
Data de Publicação: 2009
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10451/4575
Resumo: Tese de mestrado, Engenharia Física, Universidade de Lisboa, Faculdade de Ciências,2009
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