Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Moreira, Eurico Esteves
Data de Publicação: 2020
Idioma: eng
Título da fonte: Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
Texto Completo: http://hdl.handle.net/1822/76837
Resumo: Tese de Doutoramento (Programa Doutoral em Sistemas Avançados de Engenharia para a Indústria)
id RCAP_e999d5e4d8cf067281aa61d933b80b93
oai_identifier_str oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/76837
network_acronym_str RCAP
network_name_str Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
repository_id_str 7160
spelling Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applicationsMEMSacelerómetro ressonantemagnetómetro MEMSvácuoresonant accelerometerfrequency-modulated magnetometervacuum encapsulationEngenharia e Tecnologia::Engenharia Eletrotécnica, Eletrónica e InformáticaTese de Doutoramento (Programa Doutoral em Sistemas Avançados de Engenharia para a Indústria)Os acelerómetros MEMS têm um papel importante no desenvolvimento de novas soluções/funcionalidades para a indústria automóvel, nomeadamente na melhoria das condições de segurança e de condução. Não obstante, dispositivos com melhor performance, dimensões mais reduzidas e menor custo possibilitariam a implementação de mais casos de uso/funcionalidades. A encapsulação em vácuo tem sido alvo de estudo para desenvolver sensores MEMS de dimensões reduzidas e de baixo custo, uma vez que viabiliza a integração monolítica de todos os sensores que compõe uma unidade de medição inercial. Contudo, os acelerómetros MEMS tradicionais não operam corretamente nestas condições. Esta tese foca-se no desenvolvimento de um acelerómetro MEMS ressonante baseado em ressonadores DETF ("double-ended tuning fork"). O sensor proposto é composto por dois ressonadores numa configuração diferencial para minimizar os efeitos de modo comum, ao qual foram adicionadas alavancas para aumentar a sensibilidade. Os dispositivos foram fabricados num processo standard de microfabricação na Bosch e encapsulados em vácuo. Foi desenvolvido um sistema que permite operar os ressonadores em malha aberta e malha fechada. Em malha fechada, a frequência de excitação dos DETF é constantemente atualizada, aumentando a linearidade e gama de medição. Após a caraterização exaustiva realizada é possível destacar uma alta sensibilidade (170.7 Hz/g) e boa não-linearidade (<0.63 %), em dimensões reduzidas (0.25 mm2), uma largura de banda de 63 Hz e uma gama de medida de ±5 g. Adicionalmente, é ainda apresentado um magnetómetro MEMS diferencial e modulado em frequência, que permite provar a deteção de campo magnético com DETFs. O sensor é também composto por um transdutor de força de Lorentz, tendo sido otimizado para aumentar a sua sensibilidade. Os magnetómetros foram fabricados no INL num processo SOI e é também apresentada a sua validação experimental.MEMS accelerometers are paramount in the development of the automotive industry, where many applica-tions improved the security and driving experience. However, better, cheaper, and smaller devices would enable even further use-cases. Encapsulation in vacuum has been studied to develop more affordable and smaller devices since it would allow the monolithic integration of the sensors composing an inertial measurement unit. Nevertheless, traditional accelerometers do not operate properly at low pressures. This work focus on the development of a resonant accelerometer based on double-ended tuning fork (DETF) resonators. The accelerometer proposed is composed of two DETF on a differential configuration to min-imise common-mode effects, and a force amplification mechanism was added to increase sensitivity. The designed devices were fabricated in a Bosch standard surface micromachining process and encapsulated in vacuum. A system was implemented to validate the accelerometers, operating the resonators in open-loop and closed-loop. In closed-loop, the driving frequency of the DETF is constantly updated, increasing the sensor linearity and full-scale. An extensive characterisation was performed and a good non-linearity (<0.63% FS) and high sensitivity (170.7 Hz/g) on a small footprint (0.25 mm2) were highlighted as the main achievements. A bandwidth of 63 Hz and a measurement range of at least ±5 g were also reported. A differential frequency-modulated magnetometer was designed, implemented and characterised to prove the feasibility of magnetic field sensing using DETF resonators. A novel Lorentz force transducer was proposed and optimised to increase the device's sensitivity. The magnetometers were fabricated on an in-house two mask SOI-process, and the experimental validation of the envisioned sensor was performed.Gaspar, João Carlos AzevedoCabral, Jorge Miguel Nunes dos SantosRocha, Luís Alexandre Machado daUniversidade do MinhoMoreira, Eurico Esteves2020-10-282020-10-28T00:00:00Zdoctoral thesisinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionapplication/pdfhttp://hdl.handle.net/1822/76837eng101618557info:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãoinstacron:RCAAP2024-05-11T04:21:24Zoai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/76837Portal AgregadorONGhttps://www.rcaap.pt/oai/openairemluisa.alvim@gmail.comopendoar:71602024-05-11T04:21:24Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos) - Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informaçãofalse
dc.title.none.fl_str_mv Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications
title Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications
spellingShingle Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications
Moreira, Eurico Esteves
MEMS
acelerómetro ressonante
magnetómetro MEMS
vácuo
resonant accelerometer
frequency-modulated magnetometer
vacuum encapsulation
Engenharia e Tecnologia::Engenharia Eletrotécnica, Eletrónica e Informática
title_short Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications
title_full Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications
title_fullStr Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications
title_full_unstemmed Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications
title_sort Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications
author Moreira, Eurico Esteves
author_facet Moreira, Eurico Esteves
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Gaspar, João Carlos Azevedo
Cabral, Jorge Miguel Nunes dos Santos
Rocha, Luís Alexandre Machado da
Universidade do Minho
dc.contributor.author.fl_str_mv Moreira, Eurico Esteves
dc.subject.por.fl_str_mv MEMS
acelerómetro ressonante
magnetómetro MEMS
vácuo
resonant accelerometer
frequency-modulated magnetometer
vacuum encapsulation
Engenharia e Tecnologia::Engenharia Eletrotécnica, Eletrónica e Informática
topic MEMS
acelerómetro ressonante
magnetómetro MEMS
vácuo
resonant accelerometer
frequency-modulated magnetometer
vacuum encapsulation
Engenharia e Tecnologia::Engenharia Eletrotécnica, Eletrónica e Informática
description Tese de Doutoramento (Programa Doutoral em Sistemas Avançados de Engenharia para a Indústria)
publishDate 2020
dc.date.none.fl_str_mv 2020-10-28
2020-10-28T00:00:00Z
dc.type.driver.fl_str_mv doctoral thesis
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv http://hdl.handle.net/1822/76837
url http://hdl.handle.net/1822/76837
dc.language.iso.fl_str_mv eng
language eng
dc.relation.none.fl_str_mv 101618557
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
instname:Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
instacron:RCAAP
instname_str Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
instacron_str RCAAP
institution RCAAP
reponame_str Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
collection Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
repository.name.fl_str_mv Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos) - Agência para a Sociedade do Conhecimento (UMIC) - FCT - Sociedade da Informação
repository.mail.fl_str_mv mluisa.alvim@gmail.com
_version_ 1817544286293458944

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