Caracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimico
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Data de Publicação: | 1991 |
Tipo de documento: | Dissertação |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Repositório Institucional da UFPR |
Texto Completo: | https://hdl.handle.net/1884/36949 |
Resumo: | Orientador: Vicente Roberto Dumke |
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Serbena, Francisco CarlosUniversidade Federal do Paraná. Setor de Ciências Exatas. Programa de Pós-Graduação em FísicaDumke, Vicente Roberto, 1940-2022-08-10T17:01:41Z2022-08-10T17:01:41Z1991https://hdl.handle.net/1884/36949Orientador: Vicente Roberto DumkeDissertação (mestrado) - Universidade Federal do Parana, Setor de Ciencias ExatasResumo: A implantação de íons de O + em Si produz modificações em suas propriedades mecânicas, químicas e óticas. Usando técnicas de microscopia ótica de interferência e de ataque químico, observa-se um padrão de dissolução característico na fronteira da região implantada, revelando a existência de uma microestrutura nesta região. Esta está relacionada a efeitos de mascaramento, difusão do oxigênio, surgimento de defeitos e precipitados de SiO2 e a existência de tensões . As modificações na topografia de superfície assim como a criação de defeitos após tratamentos térmicos em alta temperatura também foram estudadas.Abstract: The high dose O + implantation in Si monocrystals changes the mechanical, chemical and optical properties of the bulk. Using optical interference microscopy and chemical etching, a characteristic dissolution pattern is observed in the implanted region boundary. This microstructure is related with conditions such as ion implantation mask, oxygen diffusion, defects and SiO2 precipitates and stress field. The modifications in surface topography and defects production by high temperature annealing are described too.iii, 68 f. : il. ; 30 cm.application/pdfDisponível em formato digitalFisica do estado solidoTesesFisicaCaracterização de Si implantado com altas doses de oxigenio atraves de microscopia otica de interferencia e ataque quimicoinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisporreponame:Repositório Institucional da UFPRinstname:Universidade Federal do Paraná (UFPR)instacron:UFPRinfo:eu-repo/semantics/openAccessORIGINALD - FRANCISCO CARLOS SERBENA.pdfapplication/pdf4243867https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36949/1/D%20-%20FRANCISCO%20CARLOS%20SERBENA.pdfe214368c6a2ea339bcefa4d61606cfd4MD51open accessTEXTD - FRANCISCO CARLOS SERBENA.pdf.txtExtracted Texttext/plain120030https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36949/2/D%20-%20FRANCISCO%20CARLOS%20SERBENA.pdf.txt42d3309a959ab992b61191f0285890f4MD52open accessTHUMBNAILD - FRANCISCO CARLOS SERBENA.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1228https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36949/3/D%20-%20FRANCISCO%20CARLOS%20SERBENA.pdf.jpg7d702f6769824b857cca562fa6f6265dMD53open access1884/369492022-08-10 14:01:41.714open accessoai:acervodigital.ufpr.br:1884/36949Repositório de PublicaçõesPUBhttp://acervodigital.ufpr.br/oai/requestopendoar:3082022-08-10T17:01:41Repositório Institucional da UFPR - Universidade Federal do Paraná (UFPR)false |
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