Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Giles Antunez de Mayolo, Luis Felipe
Data de Publicação: 1990
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFPR
Texto Completo: https://hdl.handle.net/1884/36957
Resumo: Orientador: Vicente Roberto Dumke
id UFPR_81895cda3748ce6bc94028915d5f53b0
oai_identifier_str oai:acervodigital.ufpr.br:1884/36957
network_acronym_str UFPR
network_name_str Repositório Institucional da UFPR
repository_id_str 308
spelling Universidade Federal do Paraná. Setor de Ciências Exatas. Programa de Pós-Graduação em FísicaDumke, Vicente Roberto, 1940-Giles Antunez de Mayolo, Luis Felipe2024-03-20T17:58:32Z2024-03-20T17:58:32Z1990https://hdl.handle.net/1884/36957Orientador: Vicente Roberto DumkeDissertação (mestrado) - Universidade Federal do Paraná, Setor de Ciências Exatas, Programa de Pós-Graduação em FísicaResumo: A implantação de altas doses de 0+ em cristais de silicio monocristalino provoca mudanças estruturais nestes. Estas alterações são evidenciadas pelo inchamento das regiões implantadas. Estudando a topografia das superfícies através de observações por microscopia óptica de interferência, conseguimos mapear as variações nas superfícies implantadas. Constatou-se assim, que o inchamento destas últimas está diretamente relacionado com a presença de uma camada enterrada de SiO2 . Efetou-se também acompanhamentos da topografia das superfícies implantadas, submetidas a tratamentos térmicos sequenciais, que permitiu determinar comportamentos diferentes em função da dose de implantação.Abstract: The high dose O+ ion-implantation into monocrystal silicon produces structural changes. These alterations are evidenced by the swelling of the implanted area. The study of the surface topography by interference observations, permits to evaluate the expansion of the implanted regions. It is shown that the swelling of the implanted surface is strongly related with the presence of a buried Si 02 layer. It is also shown from the topographical observations of the implanted surface submitted to sequential thermal treatment, that the behaviour of these surfaces is oxygen dose dependent.[iv], vii, 86 f. : il. ; 30 cm.application/pdfDisponível em formato digitalEletroquímicaSilicioFísicaDeterminação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferênciainfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisporreponame:Repositório Institucional da UFPRinstname:Universidade Federal do Paraná (UFPR)instacron:UFPRinfo:eu-repo/semantics/openAccessORIGINALD - LUIS FELIPE GILES ANTUNEZ DE MAYOLO.pdfapplication/pdf7849100https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36957/1/D%20-%20LUIS%20FELIPE%20GILES%20ANTUNEZ%20DE%20MAYOLO.pdf9358b13cc471a0669b6a017981895dfbMD51open accessTEXTD - LUIS FELIPE GILES ANTUNEZ DE MAYOLO.pdf.txtExtracted Texttext/plain105092https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36957/2/D%20-%20LUIS%20FELIPE%20GILES%20ANTUNEZ%20DE%20MAYOLO.pdf.txt7539db141df32a0909c4c9bcc2d04d81MD52open accessTHUMBNAILD - LUIS FELIPE GILES ANTUNEZ DE MAYOLO.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1169https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36957/3/D%20-%20LUIS%20FELIPE%20GILES%20ANTUNEZ%20DE%20MAYOLO.pdf.jpg22eef9b3b86e414f46b4b3817052f0abMD53open access1884/369572024-03-20 14:58:32.319open accessoai:acervodigital.ufpr.br:1884/36957Repositório de PublicaçõesPUBhttp://acervodigital.ufpr.br/oai/requestopendoar:3082024-03-20T17:58:32Repositório Institucional da UFPR - Universidade Federal do Paraná (UFPR)false
dc.title.pt_BR.fl_str_mv Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência
title Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência
spellingShingle Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência
Giles Antunez de Mayolo, Luis Felipe
Eletroquímica
Silicio
Física
title_short Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência
title_full Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência
title_fullStr Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência
title_full_unstemmed Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência
title_sort Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência
author Giles Antunez de Mayolo, Luis Felipe
author_facet Giles Antunez de Mayolo, Luis Felipe
author_role author
dc.contributor.other.pt_BR.fl_str_mv Universidade Federal do Paraná. Setor de Ciências Exatas. Programa de Pós-Graduação em Física
dc.contributor.advisor1.fl_str_mv Dumke, Vicente Roberto, 1940-
dc.contributor.author.fl_str_mv Giles Antunez de Mayolo, Luis Felipe
contributor_str_mv Dumke, Vicente Roberto, 1940-
dc.subject.por.fl_str_mv Eletroquímica
Silicio
Física
topic Eletroquímica
Silicio
Física
description Orientador: Vicente Roberto Dumke
publishDate 1990
dc.date.issued.fl_str_mv 1990
dc.date.accessioned.fl_str_mv 2024-03-20T17:58:32Z
dc.date.available.fl_str_mv 2024-03-20T17:58:32Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://hdl.handle.net/1884/36957
url https://hdl.handle.net/1884/36957
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.pt_BR.fl_str_mv Disponível em formato digital
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv [iv], vii, 86 f. : il. ; 30 cm.
application/pdf
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositório Institucional da UFPR
instname:Universidade Federal do Paraná (UFPR)
instacron:UFPR
instname_str Universidade Federal do Paraná (UFPR)
instacron_str UFPR
institution UFPR
reponame_str Repositório Institucional da UFPR
collection Repositório Institucional da UFPR
bitstream.url.fl_str_mv https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36957/1/D%20-%20LUIS%20FELIPE%20GILES%20ANTUNEZ%20DE%20MAYOLO.pdf
https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36957/2/D%20-%20LUIS%20FELIPE%20GILES%20ANTUNEZ%20DE%20MAYOLO.pdf.txt
https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36957/3/D%20-%20LUIS%20FELIPE%20GILES%20ANTUNEZ%20DE%20MAYOLO.pdf.jpg
bitstream.checksum.fl_str_mv 9358b13cc471a0669b6a017981895dfb
7539db141df32a0909c4c9bcc2d04d81
22eef9b3b86e414f46b4b3817052f0ab
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
MD5
MD5
repository.name.fl_str_mv Repositório Institucional da UFPR - Universidade Federal do Paraná (UFPR)
repository.mail.fl_str_mv
_version_ 1801860493052215296

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