Construção de um sistema de deposição de filmes finos via desbastamento iônico

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Paredi, Rodrigo Melo
Data de Publicação: 1998
Outros Autores: Schmidt, Joao Edgar, Morrone, Angelo Ribeiro, Pereira, Luis Gustavo
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/89990
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