Estudo da implantação de As a baixas energias em Si e SIMOX

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Dalponte, Mateus
Data de Publicação: 2002
Outros Autores: Souza, Joel Pereira de, Boudinov, Henri Ivanov
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/56248
Resumo: 211
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