Preparação e caracterização de oxinitretos para aplicações em sensores de temperatura criogênicos

• Autor(a) principal: Ritter, Fernando Lahude
• Data de Publicação: 2019
• Tipo de documento: Trabalho de conclusão de curso
• Idioma: por
• Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
• Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/206612
• topic: Sensores térmicos; Filmes finos; Difração de raios X

Cada vez mais dispositivos que operam em temperaturas criogênicas (< 100 K) como aeroespaciais, médicas e supercondutoras tem apresentado relevância tecnológica. Neste contexto, os sensores de temperatura tornam-se instrumentos fundamentais para controle e monitoramento destas tecnologias. Principalmente quando estas tecnologias estão sujeitas a campos magnéticos intensos e altas doses de radiação. Neste trabalho, serão produzidos e estudados dispositivos sensíveis à temperatura baseados em filmes finos de ZrN/ZrO2 crescidos com a técnica magnetron sputtering reativo. Serão realizadas análise estruturais e química dos filmes finos a também das propriedades elétricas em diferentes temperatura. A Difração de raios X mostrou a presença de mais de uma fase cristalinas nas amostras produzidas, sendo identificada a presença do nitreto cúbico ZrN. Microscopia eletrônica de varredura (MEV) indicou a presença de filmes altamente compactos e com baixa rugosidade. As medidas elétricas mostraram um comportamento com coeficiente de temperatura negativo, e altamente dependente das condições de deposição. A amostra depositada em atmosfera contendo cerca de 17 % de gás nitrogênio apresentou um coeficiente de temperatura de -0,05 K-1 , bastante próximo dos valores de sensores comerciais.