Influência do nitrogênio no crescimento de filmes de óxido de silício

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Radtke, Claudio
Data de Publicação: 1997
Outros Autores: Stedile, Fernanda Chiarello, Salgado, Tania Denise Miskinis
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/95183
Resumo: 124
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