Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS)

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Vassoler, Jakson Manfredini
Data de Publicação: 2001
Outros Autores: Franzner, Savio, Iturrioz, Ignacio, Fonseca, Jun Sergio Ono, Ribas, Renato Perez
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
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