Comissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC
Autor(a) principal: | |
---|---|
Data de Publicação: | 2002 |
Outros Autores: | |
Tipo de documento: | Artigo de conferência |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Repositório Institucional da UFRGS |
Texto Completo: | http://hdl.handle.net/10183/56043 |
Resumo: | 270 |
id |
UFRGS-2_f66031bf7b665acc13099b618ec97ace |
---|---|
oai_identifier_str |
oai:www.lume.ufrgs.br:10183/56043 |
network_acronym_str |
UFRGS-2 |
network_name_str |
Repositório Institucional da UFRGS |
repository_id_str |
|
spelling |
Bavaresco, JovanaStedile, Fernanda ChiarelloSalão de iniciação Científica (14. : 2002 dez. 2-6 : UFRGS, Porto Alegre, RS).2012-10-04T01:39:07Z2002http://hdl.handle.net/10183/56043000346781application/pdfporSalão de Iniciação Científica (14. : 2002 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2002.Química de MateriaisCiências exatas e da terraQuímicaComissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiCinfo:eu-repo/semantics/conferenceObjectinfo:eu-repo/semantics/otherinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion270info:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Institucional da UFRGSinstname:Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)instacron:UFRGSORIGINAL000346781.pdf000346781.pdfResumoapplication/pdf13024http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/56043/1/000346781.pdff6123127db38b622d9a63d3ddd43b69dMD51TEXT000346781.pdf.txt000346781.pdf.txtExtracted Texttext/plain2080http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/56043/2/000346781.pdf.txtd715d622048e0b197f1c5cd6e0fe85d9MD52THUMBNAIL000346781.pdf.jpg000346781.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1240http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/56043/3/000346781.pdf.jpg9168c12f381371a43835ee10d05f4147MD5310183/560432023-04-13 03:23:14.956279oai:www.lume.ufrgs.br:10183/56043Repositório de PublicaçõesPUBhttps://lume.ufrgs.br/oai/requestopendoar:2023-04-13T06:23:14Repositório Institucional da UFRGS - Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)false |
dc.title.pt_BR.fl_str_mv |
Comissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC |
title |
Comissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC |
spellingShingle |
Comissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC Bavaresco, Jovana Ciências exatas e da terra Química Química de Materiais |
title_short |
Comissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC |
title_full |
Comissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC |
title_fullStr |
Comissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC |
title_full_unstemmed |
Comissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC |
title_sort |
Comissionamento de reatores utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC |
author |
Bavaresco, Jovana |
author_facet |
Bavaresco, Jovana Stedile, Fernanda Chiarello |
author_role |
author |
author2 |
Stedile, Fernanda Chiarello |
author2_role |
author |
dc.contributor.event.pt_BR.fl_str_mv |
Salão de iniciação Científica (14. : 2002 dez. 2-6 : UFRGS, Porto Alegre, RS). |
dc.contributor.author.fl_str_mv |
Bavaresco, Jovana Stedile, Fernanda Chiarello |
dc.subject.cnpq.fl_str_mv |
Ciências exatas e da terra |
topic |
Ciências exatas e da terra Química Química de Materiais |
dc.subject.por.fl_str_mv |
Química |
dc.subject.session.pt_BR.fl_str_mv |
Química de Materiais |
description |
270 |
publishDate |
2002 |
dc.date.issued.fl_str_mv |
2002 |
dc.date.accessioned.fl_str_mv |
2012-10-04T01:39:07Z |
dc.type.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/conferenceObject info:eu-repo/semantics/other |
dc.type.status.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
format |
conferenceObject |
status_str |
publishedVersion |
dc.identifier.uri.fl_str_mv |
http://hdl.handle.net/10183/56043 |
dc.identifier.nrb.pt_BR.fl_str_mv |
000346781 |
url |
http://hdl.handle.net/10183/56043 |
identifier_str_mv |
000346781 |
dc.language.iso.fl_str_mv |
por |
language |
por |
dc.relation.ispartof.pt_BR.fl_str_mv |
Salão de Iniciação Científica (14. : 2002 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2002. |
dc.rights.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess |
eu_rights_str_mv |
openAccess |
dc.format.none.fl_str_mv |
application/pdf |
dc.source.none.fl_str_mv |
reponame:Repositório Institucional da UFRGS instname:Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS) instacron:UFRGS |
instname_str |
Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS) |
instacron_str |
UFRGS |
institution |
UFRGS |
reponame_str |
Repositório Institucional da UFRGS |
collection |
Repositório Institucional da UFRGS |
bitstream.url.fl_str_mv |
http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/56043/1/000346781.pdf http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/56043/2/000346781.pdf.txt http://www.lume.ufrgs.br/bitstream/10183/56043/3/000346781.pdf.jpg |
bitstream.checksum.fl_str_mv |
f6123127db38b622d9a63d3ddd43b69d d715d622048e0b197f1c5cd6e0fe85d9 9168c12f381371a43835ee10d05f4147 |
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv |
MD5 MD5 MD5 |
repository.name.fl_str_mv |
Repositório Institucional da UFRGS - Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS) |
repository.mail.fl_str_mv |
|
_version_ |
1801224773519278080 |