Procedimento para a obtenção de espectros de NRA utilizados na determinação do mecanismo de crescimento térmico de filmes dielétricos crescidos sobre SiC

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Hoffmann, Vagner
Data de Publicação: 2003
Outros Autores: Baumvol, Israel Jacob Rabin
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/39957
Resumo: 357
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