Fabricação de microdispositivos por fotolitografia e projeto de fotoexpositora de luz pontual

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Santos, Gustavo Nóbrega dos
Data de Publicação: 2013
Tipo de documento: Trabalho de conclusão de curso
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRJ
Texto Completo: http://hdl.handle.net/11422/9560
Resumo: O presente trabalho apresenta utilização de uma fotoexpositora comercial para fabricação de microssistemas através da técnica de fotolitografia e o projeto e construção detalhada de uma nova fotoexpositora de fonte de luz pontual.A fotoexpositora comercial empregada no presente estudo contem 4 lampadas tubulares como fonte de luz UV e permite a fabricação de canais de sessão semi-circular. Todavia o posicionamento,dos canais a serem fabricados, com relação as lampadas (perpendiculares ou paralelos as lampadas) levam adiferenças de fabricação dos canais. Neste sentido a novafotoexpositora projetada e construida no contexto do presente trabalho faz uso de uma fonte pontual de luz UV e tem como objetivo principal a fabricação de microssistemas com melhor acabamento e maior uniformidade dos canais além de permitir a fabricação de micro-canais com secção transversal retangular.
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