Tecnica de fotolitografia coerente

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Mol, Anderson William, 1956-
Data de Publicação: 1987
Tipo de documento: Tese
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1577320
Resumo: Orientador: Vitor Baranauskas
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spelling Tecnica de fotolitografia coerenteFotolitografiaOrientador: Vitor BaranauskasTese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia EletricaResumo: Procurou-se ao longo deste trabalho, desenvolver e caracterizar a Técnica de Fotolitografia Coerente, baseada na aplicação do laser de HeNe sobre placas fotográficas, explorando-se as características da radiação laser, tais como: monocromaticidade, brilho, coerência e modo de oscilação; de forma a induzir o efeito de absorção a dois fótons nos cristais de Prata, determinando uma característica de absorção não linear na emulsão fotográfica. Para a compreensão deste mecanismo estabeleceu-se inicialmente a base da formação da imagem latente a nível das excitações elementares dos Cristais de Prata, desenvolvendo-se então um modelo teórico que permitisse uma compreensão apropriada a nível de uma descrição teórica do processo de sensibilização. Este modelo, embora preciso, apresentava-se pouco prático, do desenvolvimento de um modelo fenomenológico, estabelecido a partir de uma seqüência de experimentos, obtendo-se por fim, uma expressão paramétrica mais simples que descrevesse de forma adequada os resultados experimentais. Esta expressão foi empregada na análise de padrões litográficos micrométricos, apresentando um resultado bastante satisfatório. Para a fotogravação dos padrões micrométricos fez-se necessário o projeto e desenvolvimento do sistema litográfico e conseqüentemente de toda uma instrumentação específica. Esta técnica fotolitográfica apresenta-se, portanto, como uma possibilidade alternativa interessante, quando comparada a outros processos, sendo que a confecção de uma máscara em microeletrônica empregando laser, conforme apresentamos aqui, mostra-se atraente em função do seu poder de resolução, baixo custo e simplicidadeAbstract: Not informed.DoutoradoEletrônica e ComunicaçõesDoutor em Engenharia Elétrica[s.n.]Baranauskas, Vitor, 1952-2014Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia ElétricaPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASMol, Anderson William, 1956-19871987-05-22T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdf128 f.(Broch.)https://hdl.handle.net/20.500.12733/1577320MOL, Anderson William. Tecnica de fotolitografia coerente. 1987. 128 f Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1577320. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/47510porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2022-05-05T22:11:04Zoai::47510Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2022-05-05T22:11:04Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
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