Nanocompósitos de carbono amorfo hidrogenado do tipo diamante com adição de nanopartículas de sílica

• Autor(a) principal: Viana, William Emanuel Silva Santos
• Data de Publicação: 2018
• Tipo de documento: Tese
• Idioma: por
• Título da fonte: Repositório Institucional da UFRJ
• Texto Completo: http://hdl.handle.net/11422/12485
• topic: CNPQ::ENGENHARIAS; nanoindentação; Filmes finos a-C:H

Neste trabalho, realizou-se um estudo investigativo e comparativo dos filmes finos de DLC (Diamond-like Carbon) puro e filmes de DLC nanocompósito (modificado com adição de nanopartículas). Esta comparação se deu a partir das possíveis modificações nas propriedades mecânicas, químicas e estruturais dos filmes depositados, tais quais: espessura, taxa de deposição, dureza, módulo de elasticidade, tensão interna, ligações químicas, estrutura e a resistência ao desgaste. A técnica utilizada para deposição dos filmes é conhecida como PECVD (do inglês, plasma enhanced chemical vapour deposition), assistida por RF - rádio frequência. Em particular, foram depositados filmes de carbono amorfo hidrogenado a-C:H sobre silício a partir de um precursor líquido (heptano – C7H16) como fonte de carbono. Após a otimização deste processo de deposição, foram adicionadas as nanopartículas de sílica juntamente ao precursor líquido, e assim, obteve-se, após a deposição, filmes a-C:H nanocompósito. Algumas técnicas de caracterização foram necessárias para a averiguação das propriedades dos filmes e para comprovação da presença das nanopartículas presentes, tais como: perfilometria, nanoindentação, espectroscopias no infravermelho e Raman, microscopia eletrônica de varredura (MEV), microscopia eletrônica de transmissão (MET), microscopia de força atômica (AFM), além de outras técnicas.