Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo
Autor(a) principal: | |
---|---|
Data de Publicação: | 2022 |
Tipo de documento: | Dissertação |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Repositório Institucional da UFS |
Texto Completo: | https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/15463 |
Resumo: | In this work was studied Ta1-xZrxN thin films aiming to investigate the influence of zirconium addition on the microstructure, hardness and high temperature oxidation resistance of the coatings. The thin films were deposited by reactive magnetron sputtering and characterized by Grazing Incidence X-ray Diffraction (GIXRD), Energy Dispersive Spectroscopy (EDS), nanohardness analysis and oxidation tests at high temperatures. It was first necessary to define the deposition parameters of TaN thin films with that had the amorphous structure. From this, Ta1-xZrxN thin films were deposited with different concentrations of Zr: 26, 52 e 77 at.%. GAXRD showed that all Ta1-xZrxN thin films maintained ZrN crystalline structure, forming a TaZrN solid solution. Zr incorporation did not alter hardness values of Ta1-xZrxN coatings, however, promoted significant improvements in the oxidation resistance when compared to pure TaN thin films. |
id |
UFS-2_4cf6ffa55304ecce4cea66bdc4a20b4a |
---|---|
oai_identifier_str |
oai:ufs.br:riufs/15463 |
network_acronym_str |
UFS-2 |
network_name_str |
Repositório Institucional da UFS |
repository_id_str |
|
spelling |
Santos, Jonh Yago EriksonTentardini, Eduardo Kirinus2022-04-21T00:23:47Z2022-04-21T00:23:47Z2022-02-07SANTOS, Jonh Yago Erikson. Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo. 2022. 48 f. Dissertação (Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais) - Universidade Federal de Sergipe, São Cristóvão, 2022.https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/15463In this work was studied Ta1-xZrxN thin films aiming to investigate the influence of zirconium addition on the microstructure, hardness and high temperature oxidation resistance of the coatings. The thin films were deposited by reactive magnetron sputtering and characterized by Grazing Incidence X-ray Diffraction (GIXRD), Energy Dispersive Spectroscopy (EDS), nanohardness analysis and oxidation tests at high temperatures. It was first necessary to define the deposition parameters of TaN thin films with that had the amorphous structure. From this, Ta1-xZrxN thin films were deposited with different concentrations of Zr: 26, 52 e 77 at.%. GAXRD showed that all Ta1-xZrxN thin films maintained ZrN crystalline structure, forming a TaZrN solid solution. Zr incorporation did not alter hardness values of Ta1-xZrxN coatings, however, promoted significant improvements in the oxidation resistance when compared to pure TaN thin films.Neste trabalho foi estudado filmes finos de Ta1-xZrxN com intuito de avaliar a influência da adição de diferentes quantidades de zircônio na estrutura, dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas destes revestimentos. Os filmes finos foram depositados por magnetron sputtering reativo e caracterizados por Difração de Raios X em Ângulo Rasante (GAXRD), Espectroscopia de Energia dispersiva (EDS), análises de nanodureza e testes de oxidação a altas temperaturas. Primeiramente foi necessário definir os parâmetros de deposição de filmes finos de TaN que apresentassem uma estrutura amorfa. A partir disso, filmes finos de Ta1-xZrxN foram depositados com diferentes concentrações de Zr: 26, 52 e 77 at.%. Os resultados de GAXRD mostraram que todos os filmes finos de Ta1-xZrxN mantiveram a estrutura cristalina do ZrN com a formação de uma solução sólida TaZrN. A adição de Zr não alterou a dureza dos revestimentos de Ta1-xZrxN, mas promoveu ganhos significativos na resistência à oxidação em comparação com os revestimentos de TaN puros.Conselho Nacional de Pesquisa e Desenvolvimento Científico e Tecnológico - CNPqSão CristóvãoporNitreto de tântaloNitreto de zircônioNanodurezaOxidação a altas temperaturasTantalum nitrideZirconium nitrideNanohardnessHigh temperature oxidationENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICAInfluência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativoInfluence of zirconium addition on the hardness and high temperature oxidation resistance of Ta1-xZrxN coatings deposited by reactive magnetron sputteringinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisPós-Graduação em Ciência e Engenharia de MateriaisUniversidade Federal de Sergipereponame:Repositório Institucional da UFSinstname:Universidade Federal de Sergipe (UFS)instacron:UFSinfo:eu-repo/semantics/openAccessTEXTJONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdf.txtJONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdf.txtExtracted texttext/plain73203https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/15463/3/JONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdf.txt021d825bffab43184f75ff508405f9f9MD53THUMBNAILJONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdf.jpgJONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1376https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/15463/4/JONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdf.jpgba1bf62f270103b67759ee04fac588ddMD54LICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81475https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/15463/1/license.txt098cbbf65c2c15e1fb2e49c5d306a44cMD51ORIGINALJONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdfJONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdfapplication/pdf1257718https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/15463/2/JONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdff902ea0e825fdfb8c2c2bb7b404cc495MD52riufs/154632022-04-20 21:23:50.499oai:ufs.br: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Repositório InstitucionalPUBhttps://ri.ufs.br/oai/requestrepositorio@academico.ufs.bropendoar:2022-04-21T00:23:50Repositório Institucional da UFS - Universidade Federal de Sergipe (UFS)false |
dc.title.pt_BR.fl_str_mv |
Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo |
dc.title.alternative.eng.fl_str_mv |
Influence of zirconium addition on the hardness and high temperature oxidation resistance of Ta1-xZrxN coatings deposited by reactive magnetron sputtering |
title |
Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo |
spellingShingle |
Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo Santos, Jonh Yago Erikson Nitreto de tântalo Nitreto de zircônio Nanodureza Oxidação a altas temperaturas Tantalum nitride Zirconium nitride Nanohardness High temperature oxidation ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA |
title_short |
Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo |
title_full |
Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo |
title_fullStr |
Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo |
title_full_unstemmed |
Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo |
title_sort |
Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo |
author |
Santos, Jonh Yago Erikson |
author_facet |
Santos, Jonh Yago Erikson |
author_role |
author |
dc.contributor.author.fl_str_mv |
Santos, Jonh Yago Erikson |
dc.contributor.advisor1.fl_str_mv |
Tentardini, Eduardo Kirinus |
contributor_str_mv |
Tentardini, Eduardo Kirinus |
dc.subject.por.fl_str_mv |
Nitreto de tântalo Nitreto de zircônio Nanodureza Oxidação a altas temperaturas |
topic |
Nitreto de tântalo Nitreto de zircônio Nanodureza Oxidação a altas temperaturas Tantalum nitride Zirconium nitride Nanohardness High temperature oxidation ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA |
dc.subject.eng.fl_str_mv |
Tantalum nitride Zirconium nitride Nanohardness High temperature oxidation |
dc.subject.cnpq.fl_str_mv |
ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA |
description |
In this work was studied Ta1-xZrxN thin films aiming to investigate the influence of zirconium addition on the microstructure, hardness and high temperature oxidation resistance of the coatings. The thin films were deposited by reactive magnetron sputtering and characterized by Grazing Incidence X-ray Diffraction (GIXRD), Energy Dispersive Spectroscopy (EDS), nanohardness analysis and oxidation tests at high temperatures. It was first necessary to define the deposition parameters of TaN thin films with that had the amorphous structure. From this, Ta1-xZrxN thin films were deposited with different concentrations of Zr: 26, 52 e 77 at.%. GAXRD showed that all Ta1-xZrxN thin films maintained ZrN crystalline structure, forming a TaZrN solid solution. Zr incorporation did not alter hardness values of Ta1-xZrxN coatings, however, promoted significant improvements in the oxidation resistance when compared to pure TaN thin films. |
publishDate |
2022 |
dc.date.accessioned.fl_str_mv |
2022-04-21T00:23:47Z |
dc.date.available.fl_str_mv |
2022-04-21T00:23:47Z |
dc.date.issued.fl_str_mv |
2022-02-07 |
dc.type.status.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
dc.type.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/masterThesis |
format |
masterThesis |
status_str |
publishedVersion |
dc.identifier.citation.fl_str_mv |
SANTOS, Jonh Yago Erikson. Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo. 2022. 48 f. Dissertação (Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais) - Universidade Federal de Sergipe, São Cristóvão, 2022. |
dc.identifier.uri.fl_str_mv |
https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/15463 |
identifier_str_mv |
SANTOS, Jonh Yago Erikson. Influência da adição de zircônio na dureza e resistência à oxidação em altas temperaturas de revestimentos de Ta1-xZrxN depositados por magnetron sputtering reativo. 2022. 48 f. Dissertação (Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais) - Universidade Federal de Sergipe, São Cristóvão, 2022. |
url |
https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/15463 |
dc.language.iso.fl_str_mv |
por |
language |
por |
dc.rights.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess |
eu_rights_str_mv |
openAccess |
dc.publisher.program.fl_str_mv |
Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais |
dc.publisher.initials.fl_str_mv |
Universidade Federal de Sergipe |
dc.source.none.fl_str_mv |
reponame:Repositório Institucional da UFS instname:Universidade Federal de Sergipe (UFS) instacron:UFS |
instname_str |
Universidade Federal de Sergipe (UFS) |
instacron_str |
UFS |
institution |
UFS |
reponame_str |
Repositório Institucional da UFS |
collection |
Repositório Institucional da UFS |
bitstream.url.fl_str_mv |
https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/15463/3/JONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdf.txt https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/15463/4/JONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdf.jpg https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/15463/1/license.txt https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/15463/2/JONH_YAGO_ERIKSON_SANTOS.pdf |
bitstream.checksum.fl_str_mv |
021d825bffab43184f75ff508405f9f9 ba1bf62f270103b67759ee04fac588dd 098cbbf65c2c15e1fb2e49c5d306a44c f902ea0e825fdfb8c2c2bb7b404cc495 |
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv |
MD5 MD5 MD5 MD5 |
repository.name.fl_str_mv |
Repositório Institucional da UFS - Universidade Federal de Sergipe (UFS) |
repository.mail.fl_str_mv |
repositorio@academico.ufs.br |
_version_ |
1802110734584250368 |