Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo
Autor(a) principal: | |
---|---|
Data de Publicação: | 2023 |
Tipo de documento: | Dissertação |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Repositório Institucional da UFS |
Texto Completo: | https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/17932 |
Resumo: | ZrN thin films with 1.6% Si addition were deposited via reactive magnetron sputtering and characterized by RBS, SEM-FEG, GAXRD, XPS and high temperature oxidation tests, aiming to investigate how structurally silicon is inserted in ZrN matrix. GAXRD analyses show a reduction in lattice parameter and grain size due to Si incorporation and XPS analyses demonstrate Si is present in nitride form. Such observations suggest the non-formation of substitutional or interstitial solid solution with ZrN, but the presence of Si3N4, even in low Si concentrations. |
id |
UFS-2_83e1b39ee86aa21f46aa2b3dc072d5ac |
---|---|
oai_identifier_str |
oai:ufs.br:riufs/17932 |
network_acronym_str |
UFS-2 |
network_name_str |
Repositório Institucional da UFS |
repository_id_str |
|
spelling |
Santos, Júlio César Valeriano dosTentardini, Eduardo Kirinus2023-07-27T20:06:59Z2023-07-27T20:06:59Z2023-02-14SANTOS, Júlio César Valeriano dos. Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo. 2023. 47 f. Dissertação (Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais) – Universidade Federal de Sergipe, São Cristóvão, 2023.https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/17932ZrN thin films with 1.6% Si addition were deposited via reactive magnetron sputtering and characterized by RBS, SEM-FEG, GAXRD, XPS and high temperature oxidation tests, aiming to investigate how structurally silicon is inserted in ZrN matrix. GAXRD analyses show a reduction in lattice parameter and grain size due to Si incorporation and XPS analyses demonstrate Si is present in nitride form. Such observations suggest the non-formation of substitutional or interstitial solid solution with ZrN, but the presence of Si3N4, even in low Si concentrations.Filmes finos de ZrN com adição de 1,6% de Si foram depositados via magnetron sputtering reativo e caracterizados por RBS, SEM-FEG, GAXRD, XPS e testes de oxidação em alta temperatura, visando investigar como estruturalmente o silício é inserido na matriz de ZrN. As análises GAXRD mostram uma redução no parâmetro de rede e no tamanho de grão devido à incorporação de Si e as análises XPS demonstram que o Si está presente na forma de nitreto. Tais observações sugerem a não formação de solução sólida substitucional ou intersticial com ZrN, mas a presença de Si3N4, mesmo em baixas concentrações de Si.Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior - CAPESSão CristóvãoporFilmes finosSolução sólidaZrNSi3N4Magnetron sputteringMagnetron sputtering reativoThin filmsSolid solutionReactive magnetron sputteringENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICAEstudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativoStudy on the formation of the solid solution in zrn+si thin films deposited via reactive magnetron sputteringinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisPós-Graduação em Ciência e Engenharia de MateriaisUniversidade Federal de Sergipe (UFS)reponame:Repositório Institucional da UFSinstname:Universidade Federal de Sergipe (UFS)instacron:UFSinfo:eu-repo/semantics/openAccessLICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81475https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/17932/1/license.txt098cbbf65c2c15e1fb2e49c5d306a44cMD51ORIGINALJULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdfJULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdfapplication/pdf1129885https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/17932/2/JULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf2764f4f71ee1e5c65a11754527568d89MD52TEXTJULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf.txtJULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf.txtExtracted texttext/plain77408https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/17932/3/JULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf.txt2beabd21cd8a52a9b0114de8e4e62a4eMD53THUMBNAILJULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf.jpgJULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1258https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/17932/4/JULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf.jpg15389b790e7efaaa8b01d24010848804MD54riufs/179322023-08-23 21:13:57.243oai:ufs.br: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Repositório InstitucionalPUBhttps://ri.ufs.br/oai/requestrepositorio@academico.ufs.bropendoar:2023-08-24T00:13:57Repositório Institucional da UFS - Universidade Federal de Sergipe (UFS)false |
dc.title.pt_BR.fl_str_mv |
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo |
dc.title.alternative.eng.fl_str_mv |
Study on the formation of the solid solution in zrn+si thin films deposited via reactive magnetron sputtering |
title |
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo |
spellingShingle |
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo Santos, Júlio César Valeriano dos Filmes finos Solução sólida ZrN Si3N4 Magnetron sputtering Magnetron sputtering reativo Thin films Solid solution Reactive magnetron sputtering ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA |
title_short |
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo |
title_full |
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo |
title_fullStr |
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo |
title_full_unstemmed |
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo |
title_sort |
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo |
author |
Santos, Júlio César Valeriano dos |
author_facet |
Santos, Júlio César Valeriano dos |
author_role |
author |
dc.contributor.author.fl_str_mv |
Santos, Júlio César Valeriano dos |
dc.contributor.advisor1.fl_str_mv |
Tentardini, Eduardo Kirinus |
contributor_str_mv |
Tentardini, Eduardo Kirinus |
dc.subject.por.fl_str_mv |
Filmes finos Solução sólida ZrN Si3N4 |
topic |
Filmes finos Solução sólida ZrN Si3N4 Magnetron sputtering Magnetron sputtering reativo Thin films Solid solution Reactive magnetron sputtering ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA |
dc.subject.eng.fl_str_mv |
Magnetron sputtering Magnetron sputtering reativo Thin films Solid solution Reactive magnetron sputtering |
dc.subject.cnpq.fl_str_mv |
ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA |
description |
ZrN thin films with 1.6% Si addition were deposited via reactive magnetron sputtering and characterized by RBS, SEM-FEG, GAXRD, XPS and high temperature oxidation tests, aiming to investigate how structurally silicon is inserted in ZrN matrix. GAXRD analyses show a reduction in lattice parameter and grain size due to Si incorporation and XPS analyses demonstrate Si is present in nitride form. Such observations suggest the non-formation of substitutional or interstitial solid solution with ZrN, but the presence of Si3N4, even in low Si concentrations. |
publishDate |
2023 |
dc.date.accessioned.fl_str_mv |
2023-07-27T20:06:59Z |
dc.date.available.fl_str_mv |
2023-07-27T20:06:59Z |
dc.date.issued.fl_str_mv |
2023-02-14 |
dc.type.status.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
dc.type.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/masterThesis |
format |
masterThesis |
status_str |
publishedVersion |
dc.identifier.citation.fl_str_mv |
SANTOS, Júlio César Valeriano dos. Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo. 2023. 47 f. Dissertação (Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais) – Universidade Federal de Sergipe, São Cristóvão, 2023. |
dc.identifier.uri.fl_str_mv |
https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/17932 |
identifier_str_mv |
SANTOS, Júlio César Valeriano dos. Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo. 2023. 47 f. Dissertação (Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais) – Universidade Federal de Sergipe, São Cristóvão, 2023. |
url |
https://ri.ufs.br/jspui/handle/riufs/17932 |
dc.language.iso.fl_str_mv |
por |
language |
por |
dc.rights.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess |
eu_rights_str_mv |
openAccess |
dc.publisher.program.fl_str_mv |
Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais |
dc.publisher.initials.fl_str_mv |
Universidade Federal de Sergipe (UFS) |
dc.source.none.fl_str_mv |
reponame:Repositório Institucional da UFS instname:Universidade Federal de Sergipe (UFS) instacron:UFS |
instname_str |
Universidade Federal de Sergipe (UFS) |
instacron_str |
UFS |
institution |
UFS |
reponame_str |
Repositório Institucional da UFS |
collection |
Repositório Institucional da UFS |
bitstream.url.fl_str_mv |
https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/17932/1/license.txt https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/17932/2/JULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/17932/3/JULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf.txt https://ri.ufs.br/jspui/bitstream/riufs/17932/4/JULIO_CESAR_VALERIANO_SANTOS.pdf.jpg |
bitstream.checksum.fl_str_mv |
098cbbf65c2c15e1fb2e49c5d306a44c 2764f4f71ee1e5c65a11754527568d89 2beabd21cd8a52a9b0114de8e4e62a4e 15389b790e7efaaa8b01d24010848804 |
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv |
MD5 MD5 MD5 MD5 |
repository.name.fl_str_mv |
Repositório Institucional da UFS - Universidade Federal de Sergipe (UFS) |
repository.mail.fl_str_mv |
repositorio@academico.ufs.br |
_version_ |
1802110721412038656 |