Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Silva, Marcelo Macchi da
Data de Publicação: 2007
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1609273
Resumo: Orientadores: Jacobus Willibrordus Swart, Stanislav Moshkalev
id UNICAMP-30_6e6ddd53be4ab2b4b8963e1fb1abed04
oai_identifier_str oai::441644
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizadosMicro and nano (manufacture of electrical contacts) with focused ion beamFeixes de íons focalizadosFocused ion beamOrientadores: Jacobus Willibrordus Swart, Stanislav MoshkalevDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de ComputaçãoResumo: A nanotecnologia e uma área nova e promissora que englobam muitas disciplinas de ciência e engenharia. Seu rápido crescimento nas ultimas duas décadas é devido ao crescimento simultâneo na fabricação e caracterização de materiais em escala nanométrica. O objetivo deste trabalho é desenvolver uma técnica de processo híbrido para a fabricação de micro e nanocontatos assim como sua caracterização elétrica. Esse processo híbrido combina a fotolitografia seguida da técnica de lift-off e a deposição de platina por FIB. Para determinar a resistividade da platina depositada por FIB (Focuded Ion Beam), foram fabricas estruturas quadradas variando sua espessura de 5 nm - 100 nm e sua área 150 µm 150 µm e 20 µm x 20 µm. Resistores com comprimento de 30 µm variando sua área de secção (50 nm x 50 nm - 1 µm x 1 µm) foram fabricados a fim de uma melhor na caracterização do processo de deposição do filme de Pt assim como sua caracterização elétrica. As medidas elétricas foram realizadas na estação Keythley 4200 SCS, onde foi utilizado o método de quatro pontas nas estruturas quadradas para a caracterização da resistividade. Nos resistores utilizamos a configuração de dois terminais para a caracterização de resistência dos nanocontatosAbstract: Nanoscale science and technology is a young and burgeoning field that encompasses nearly every discipline of science and engineering, the rapid growth of the field in the past decades has been enable by the sustained advances in the fabrication and characterization of materials. This work presents the hybrid process for fabrication of micro and nanocontacts, this process include the lift - off technique and platinum deposited by FIB. For measurements, two types of test structures were fabricated: (i) 150 x 150 µm and 20 x 20 µm squares with thickness of 5, 10, 30 and 100 nm, and (ii) 30 µm long resistors with variable cross - section (50 nm x 50 nm to 1 µm x 1 µm). The Pt film resistivity has been measured by a four points probe methodMestradoEletrônica, Microeletrônica e OptoeletrônicaMestre em Engenharia Elétrica[s.n.]Swart, Jacobus Willibrordus, 1950-Moshkalev, Stanislav, 1952-Pudenzi, Márcio Alberto AraújoDiniz, José AlexandreTatsch, Peter JürgenUniversidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de ComputaçãoPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASSilva, Marcelo Macchi da2007info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf78 f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1609273SILVA, Marcelo Macchi da. Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados. 2007. 78 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1609273. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/441644porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2019-06-24T11:16:14Zoai::441644Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2019-06-24T11:16:14Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
Micro and nano (manufacture of electrical contacts) with focused ion beam
title Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
spellingShingle Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
Silva, Marcelo Macchi da
Feixes de íons focalizados
Focused ion beam
title_short Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
title_full Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
title_fullStr Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
title_full_unstemmed Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
title_sort Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados
author Silva, Marcelo Macchi da
author_facet Silva, Marcelo Macchi da
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Swart, Jacobus Willibrordus, 1950-
Moshkalev, Stanislav, 1952-
Pudenzi, Márcio Alberto Araújo
Diniz, José Alexandre
Tatsch, Peter Jürgen
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação
Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Silva, Marcelo Macchi da
dc.subject.por.fl_str_mv Feixes de íons focalizados
Focused ion beam
topic Feixes de íons focalizados
Focused ion beam
description Orientadores: Jacobus Willibrordus Swart, Stanislav Moshkalev
publishDate 2007
dc.date.none.fl_str_mv 2007
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12733/1609273
SILVA, Marcelo Macchi da. Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados. 2007. 78 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1609273. Acesso em: 2 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1609273
identifier_str_mv SILVA, Marcelo Macchi da. Micro e nanofabricação (fabricação de contatos eletricos) por feixe de ions focalizados. 2007. 78 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1609273. Acesso em: 2 set. 2024.
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/441644
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
78 f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809189005135183872

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