Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre
Autor(a) principal: | |
---|---|
Data de Publicação: | 2004 |
Tipo de documento: | Tese |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
Texto Completo: | https://hdl.handle.net/20.500.12733/1601831 |
Resumo: | Orientador: Vitor Baranauskas |
id |
UNICAMP-30_b600ced91ae999f04961a9deef584fe6 |
---|---|
oai_identifier_str |
oai::361310 |
network_acronym_str |
UNICAMP-30 |
network_name_str |
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
repository_id_str |
|
spelling |
Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofreStudy of diamond doping with boron, sulphur and nitrogenDiamante artificialSemicondutores - DopagemFilmes finos de diamantesFilmes finos - Propriedades elétricasDiamond dopingBoron dopingNitrogen dopingSulphur dopingCVD diamondDiamond semiconductor propertiesOrientador: Vitor BaranauskasTese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de ComputaçãoResumo: Estudamos processos de dopagem do diamante crescido por deposição química a partir da fase vapor (diamante CVD) com a introdução de impurezas dopantes durante o crescimento do diamante em reatores do tipo filamento-quente. Focalizamos nossa pesquisa na dopagem do diamante com boro, ou nitrogênio, ou enxofre, visando obter diamantes com propriedades semicondutoras com condutividade eletrônica (tipo n) ou condutividade por lacunas (tipo p). Foram utilizadas contaminações intencionais utilizando: trimetil borano (B(CH3)3), ou amônia (NH3), ou dissulfeto de carbono (CS2), misturados com metano e diluídos em hidrogênio. As amostras foram caracterizadas por microscopia eletrônica de varredura (SEM), espectroscopia Raman, espectroscopia de foto-elétrons excitados por raios X (XPS), espectroscopia de emissão de raios X excitado por feixe de prótons (PIXE) e efeito Hall. As dopagens do diamante do tipo p e do tipo n foram obtidas com contaminações de boro e enxofre, respectivamente. O diamante dopado com nitrogênio não apresentou propriedades semicondutorasAbstract: We studied the diamond doping processes with introduction of doping impurities during the diamond growth in the chemical vapor deposition (CVD) technique, using a hot-filament reactor. Our research focused the use of boron, nitrogen or sulphur atoms in order to obtain diamond films with semiconductor properties of electronic (n-type) or hole (p-type) current transport mechanisms. Trimethyl-borane (B(CH3)3), or ammonia, or carbon disulphide (CS2), mixed with methane and hydrogen were used in the feed gas mixture. The diamond samples were characterized by scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), Proton-induced X-ray emission (PIXE) and Hall effect. p-type and n-type diamonds have been obtained with boron and sulphur doping, respectively. However, the nitrogen doped samples do not presented semiconductor propertiesDoutoradoEngenharia de Eletrônica e ComunicaçõesDoutor em Engenharia Elétrica[s.n.]Baranauskas, Vitor, 1952-2014Moro, João RobertoBaldan, Mauricio RibeiroDoi, IoshiakiPeterlevitz, Alfredo CarlosCeragioli, Helder JoseUniversidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de ComputaçãoPrograma de Pós-Graduação não informadoUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASCorrêa, Washington Luiz Alves, 1962-20042004-08-30T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdf67f. : il.(Broch.)https://hdl.handle.net/20.500.12733/1601831CORRÊA, Washington Luiz Alves. Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre. 2004. 67f. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1601831. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/361310porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2017-02-18T04:25:05Zoai::361310Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2017-02-18T04:25:05Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false |
dc.title.none.fl_str_mv |
Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre Study of diamond doping with boron, sulphur and nitrogen |
title |
Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre |
spellingShingle |
Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre Corrêa, Washington Luiz Alves, 1962- Diamante artificial Semicondutores - Dopagem Filmes finos de diamantes Filmes finos - Propriedades elétricas Diamond doping Boron doping Nitrogen doping Sulphur doping CVD diamond Diamond semiconductor properties |
title_short |
Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre |
title_full |
Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre |
title_fullStr |
Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre |
title_full_unstemmed |
Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre |
title_sort |
Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre |
author |
Corrêa, Washington Luiz Alves, 1962- |
author_facet |
Corrêa, Washington Luiz Alves, 1962- |
author_role |
author |
dc.contributor.none.fl_str_mv |
Baranauskas, Vitor, 1952-2014 Moro, João Roberto Baldan, Mauricio Ribeiro Doi, Ioshiaki Peterlevitz, Alfredo Carlos Ceragioli, Helder Jose Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação Programa de Pós-Graduação não informado UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS |
dc.contributor.author.fl_str_mv |
Corrêa, Washington Luiz Alves, 1962- |
dc.subject.por.fl_str_mv |
Diamante artificial Semicondutores - Dopagem Filmes finos de diamantes Filmes finos - Propriedades elétricas Diamond doping Boron doping Nitrogen doping Sulphur doping CVD diamond Diamond semiconductor properties |
topic |
Diamante artificial Semicondutores - Dopagem Filmes finos de diamantes Filmes finos - Propriedades elétricas Diamond doping Boron doping Nitrogen doping Sulphur doping CVD diamond Diamond semiconductor properties |
description |
Orientador: Vitor Baranauskas |
publishDate |
2004 |
dc.date.none.fl_str_mv |
2004 2004-08-30T00:00:00Z |
dc.type.status.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
dc.type.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/doctoralThesis |
format |
doctoralThesis |
status_str |
publishedVersion |
dc.identifier.uri.fl_str_mv |
(Broch.) https://hdl.handle.net/20.500.12733/1601831 CORRÊA, Washington Luiz Alves. Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre. 2004. 67f. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1601831. Acesso em: 2 set. 2024. |
identifier_str_mv |
(Broch.) CORRÊA, Washington Luiz Alves. Contribuição para a sintese de diamante com dopagens de boro, nitrogenio ou enxofre. 2004. 67f. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1601831. Acesso em: 2 set. 2024. |
url |
https://hdl.handle.net/20.500.12733/1601831 |
dc.language.iso.fl_str_mv |
por |
language |
por |
dc.relation.none.fl_str_mv |
https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/361310 |
dc.rights.driver.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess |
eu_rights_str_mv |
openAccess |
dc.format.none.fl_str_mv |
application/pdf 67f. : il. |
dc.publisher.none.fl_str_mv |
[s.n.] |
publisher.none.fl_str_mv |
[s.n.] |
dc.source.none.fl_str_mv |
reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) instacron:UNICAMP |
instname_str |
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
instacron_str |
UNICAMP |
institution |
UNICAMP |
reponame_str |
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
collection |
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
repository.name.fl_str_mv |
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
repository.mail.fl_str_mv |
sbubd@unicamp.br |
_version_ |
1809188937516711936 |