Desenvolvimento de um sistema de deposição de filmes finos pela tecnica de "sputtering" com aplicação a filmes de Ta e TaN

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Melo Junior, Alfeu Vaz de
Data de Publicação: 1979
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1578877
Resumo: Orientador : Len Mei
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spelling Desenvolvimento de um sistema de deposição de filmes finos pela tecnica de "sputtering" com aplicação a filmes de Ta e TaNFilmes finosOrientador : Len MeiDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de CampinasResumo: Neste trabalho foi desenvolvido o sistema de deposição de filmes pela técnica de "sputtering" D.C., com aplicação ao Tântalo e seus compostos. O equipamento foi projetado e construído dentro da opção de se utilizar o máximo de recursos e tecnologias nacionais. Diversos acessórios, necessários à operação do sistema, foram projetados e construídos localmente, e apresentam algumas novidades em suas concepções. O sistema foi montado e caracterizado dinamicamente, variando-se as condições de bombeamento, as pressões de operação, a tensão e corrente de deposição. e a natureza do conjunto de gases utilizado. Como aplicação ao trabalho realizado foram depositados e analisados filmes finos com.base no Tântalo, visando a obtenção de tecnologia para a realização posterior de componentes eletr6nicos. Foram obtidos filmes de Nitreto de Tântalo, em condições de repetibilidade, com resistividade de "plateau" da ordem de 250 mOcm e coeficiente de temperatura da resistividade melhor que -100 ppm °c-1, sem o uso complementar de "annealing", oxidação e envelhecimentoAbstract: Not informedMestradoMestre em Engenharia Elétrica[s.n.]Mei, LenUniversidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia de CampinasPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASMelo Junior, Alfeu Vaz de1979info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf1v. (varias paginações) : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1578877MELO JUNIOR, Alfeu Vaz de. Desenvolvimento de um sistema de deposição de filmes finos pela tecnica de "sputtering" com aplicação a filmes de Ta e TaN. 1979. 1v. (varias paginações) Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1578877. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/51881porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2014-04-18T00:05:14Zoai::51881Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2014-04-18T00:05:14Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
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