Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractais

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Bortoleto, José Roberto Ribeiro, 1974-
Data de Publicação: 2000
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1588761
Resumo: Orientador: Mônica Alonso Cotta
id UNICAMP-30_df83245d3bf90af16f3be3ab7cfc13f4
oai_identifier_str oai::192375
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractaisFilmes finos - SuperfíciesFilmes semicondutoresFosfeto de índioEpitaxiaOrientador: Mônica Alonso CottaDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb WataghinResumo: Apresentamos nesta tese o estudo da dinâmica de crescimento de filmes homoepitaxiais de InP crescidos pela técnica de Epitaxia por Feixe Químico (CBE) em função da temperatura e do tipo de substrato de InP(100). A investigação topográfica foi realizada no espaço real por meio da técnica de microscopia de força atômica. As imagens topográficas dos filmes foram analisadas utilizando os conceitos de comportamento de escala e os respectivos expoentes críticos. Nossos resultados experimentais mostram que, dentro da faixa usual de temperatura empregada na técnica CBE, a morfologia superficial dos filmes homoepitaxiais de InP pode variar de tridimensional (3D) a bidimensional (2D), passando por uma estrutura 3D alongada particular.Esta estrutura aparece somente em determinadas condições de crescimento (fluxo de precursores e temperatura) e suas características são sensíveis ao tipo de substrato empregado. Além disso, observamos várias etapas na evolução da morfologia da superfície do filme durante o crescimento CBE. O emprego da Teoria Contínua e os resultados de comportamento de escala obtidos experimentalmente, possibilitaram determinar os principais processos microscópicos superficiais envolvidos na formação dos filmes de InP(100) e propiciaram a dedução de uma equação contínua de crescimento, capaz de descrever qualitativamente a dinâmica de crescimento destes filmes. Nesta equação foram incluídos os mecanismos microscópicos de deposição e difusão superficial com bias espacialAbstract: In this work we study the growth dynamics of homoepitaxial InP(100) fi1ms obtained by Chemical Beam Epitaxy (CBE) and its dependence on temperature and type of substrate used. The topography of the samples was measured by Atomic Force Microscopy and analyzed using fractal and scaling concepts. Our experimental results show that, for the growth temperature range used in the CBE technique, the surface morphology of InP films can vary from three-dimensional (3D) to two-dimensional (2D), with an intermediate 3D structure elongated along particular directions. This structure is formed only for a particular set of growth conditions (precursor flows and temperature); its characteristics depend on the type of substrate used for growth. We also report here the several stages observed in the evolution of the InP surface morphology during CBE growth. Using Continuum Theory, we considered the critical exponents observed experimentally to propose an equation that qualitatively describes the growth dynamics of InP films. This equation includes deposition and surface diffusion with a spatial bias as the most relevant microscopic processes during InP growthMestradoFísicaMestre em Física[s.n.]Cotta, Mônica Alonso, 1963-Quivy, Alain AndreCarvalho, Mauro Monteiro Garcia deUniversidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb WataghinPrograma de Pós-Graduação em FísicaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASBortoleto, José Roberto Ribeiro, 1974-20002000-02-29T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf79 f. : il.(Broch.)https://hdl.handle.net/20.500.12733/1588761BORTOLETO, José Roberto Ribeiro. Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais: análise das características fractais. 2000. 79 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1588761. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/192375porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2019-06-27T10:56:45Zoai::192375Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2019-06-27T10:56:45Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractais
title Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractais
spellingShingle Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractais
Bortoleto, José Roberto Ribeiro, 1974-
Filmes finos - Superfícies
Filmes semicondutores
Fosfeto de índio
Epitaxia
title_short Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractais
title_full Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractais
title_fullStr Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractais
title_full_unstemmed Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractais
title_sort Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais : análise das características fractais
author Bortoleto, José Roberto Ribeiro, 1974-
author_facet Bortoleto, José Roberto Ribeiro, 1974-
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Cotta, Mônica Alonso, 1963-
Quivy, Alain Andre
Carvalho, Mauro Monteiro Garcia de
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb Wataghin
Programa de Pós-Graduação em Física
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Bortoleto, José Roberto Ribeiro, 1974-
dc.subject.por.fl_str_mv Filmes finos - Superfícies
Filmes semicondutores
Fosfeto de índio
Epitaxia
topic Filmes finos - Superfícies
Filmes semicondutores
Fosfeto de índio
Epitaxia
description Orientador: Mônica Alonso Cotta
publishDate 2000
dc.date.none.fl_str_mv 2000
2000-02-29T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv (Broch.)
https://hdl.handle.net/20.500.12733/1588761
BORTOLETO, José Roberto Ribeiro. Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais: análise das características fractais. 2000. 79 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1588761. Acesso em: 2 set. 2024.
identifier_str_mv (Broch.)
BORTOLETO, José Roberto Ribeiro. Estudo da dinâmica de crescimento de filmes de InP homoepitaxiais: análise das características fractais. 2000. 79 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1588761. Acesso em: 2 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1588761
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/192375
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
79 f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809188836508434432

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