Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Haga, Mario Susumo
Data de Publicação: 1997
Tipo de documento: Tese
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1584465
Resumo: Orientador: Yoshikazo Ernesto Nagai
id UNICAMP-30_f02c4c1bfe6b9b84aa38d1a3c0a2a409
oai_identifier_str oai::114711
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênicaDiamante artificialCarbonoOrientador: Yoshikazo Ernesto NagaiTese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb WataghinResumo: Avanços recentes no processo CVD (chemical vapor deposition) para a deposição de diamante e de DLC (diamond-like carbon), à baixa pressão, têm atraído para este campo muitos pesquisadores dos meios acadêmicos e industriais. As propriedades físicas e quimicas excepcionais tornam estes materiais muito estratégicos para aplicações científicas e tecnológicas. No presente trabalho de Tese, o método de chama oxi-acetilênica tem sido aplicado para depositar filmes de diamente policristalino e de DLC. Amostra típica de diamante auto-sustentado tem sido obtido em deposições sobre substrato de TiN a 800 ºC, usando um sistema de refrigeração à água e com queimadores com gases pré-misturados. A razão O2/C2H2 foi definida em torno de 0,9 com fluxo de oxigênio 670 sccm para deposições por cerca de três horas. O filme espesso destacado do substrato, foi caracterizado por difração de raios-X em uma nova metodologia para matrizes de materiais amorfos com diferentes densidades de partículas de diamante. A varredura do estreito feixe de raio-X é procedida ponto a ponto, ao longo do diâmetro da amostraAbstract: Recent advances in the CVD (chemical vapor deposition) process for low pressure deposition of the diamond and od the DLC (diamond-like carbon) have attracted many researches into this field in academic and industrial laboratories. The unusual physical and chemical properties of these materials make them highly desirable for scientific and technological applications. In this thesis work the oxy-acetylene flame method has been applied to grow diamond and DLC films. A typical diamond self-standing sample has been deposited on TiN substrate at 800º C, using a water coolef nozzle with pre-mixed gases. The ratio O2/C2H2 was held at 0,9 and oxygen flux of 670 sccm for about three hours. The detached thick film has been characterized by X-ray diffraction in a novel methodology as applied to diamond particles embedded in an amorphous matrix. A thin S-ray beam has been scanned point by point along a diameter of the sample. In this way the amount of crystaline phase has been mapped and quantified relatively to the amorphous phaseDoutoradoFísicaDoutor em Ciências[s.n.]Nagai, Yoshikazo Ernesto, 1939-Leite, Nelia FerreiraDoi, IoshiakiGualberto, Gilberto de MatosFerrari, Carlos AlbertoUniversidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb WataghinPrograma de Pós-Graduação em FísicaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASHaga, Mario Susumo19971997-02-21T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdf96 f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1584465HAGA, Mario Susumo. Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica. 1997. 96 f. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1584465. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/114711porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2019-04-22T10:59:33Zoai::114711Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2019-04-22T10:59:33Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica
title Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica
spellingShingle Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica
Haga, Mario Susumo
Diamante artificial
Carbono
title_short Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica
title_full Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica
title_fullStr Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica
title_full_unstemmed Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica
title_sort Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica
author Haga, Mario Susumo
author_facet Haga, Mario Susumo
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Nagai, Yoshikazo Ernesto, 1939-
Leite, Nelia Ferreira
Doi, Ioshiaki
Gualberto, Gilberto de Matos
Ferrari, Carlos Alberto
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb Wataghin
Programa de Pós-Graduação em Física
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Haga, Mario Susumo
dc.subject.por.fl_str_mv Diamante artificial
Carbono
topic Diamante artificial
Carbono
description Orientador: Yoshikazo Ernesto Nagai
publishDate 1997
dc.date.none.fl_str_mv 1997
1997-02-21T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
format doctoralThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://hdl.handle.net/20.500.12733/1584465
HAGA, Mario Susumo. Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica. 1997. 96 f. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1584465. Acesso em: 2 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1584465
identifier_str_mv HAGA, Mario Susumo. Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênica. 1997. 96 f. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1584465. Acesso em: 2 set. 2024.
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/114711
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
96 f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809188794998456320

Registros relacionados