Síntese e caracterização de filmes de TiN depositados em aço ferramenta AISI H13

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Tschiptschin, André Paulo
Data de Publicação: 2016
Tipo de documento: Artigo
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da USP (Biblioteca Digital da Produção Intelectual)
Texto Completo: http://www.sbvacuo.org.br/rbav/index.php/rbav/article/view/1040/1061
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