Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Santos, Thales Borrely dos
Data de Publicação: 2017
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
Texto Completo: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/
Resumo: Este trabalho tem por objetivo a caracterização de filmes finos de óxido de alumínio produzidos por deposição assistida por feixe de íons Ar+. Tal caracterização consiste em estabelecer a relação entre os parâmetros de produção (energia do feixe e uxo relativo de Ar), a composição e a estrutura dos lmes. Para tanto, utiliza-se técnicas de microscopia de força atômica, difração de raios-x, reetividade de raios-x e análise por feixe iônico. Resultados mostram que amostras produzidas à temperatura ambiente e à 450 oC são amorfas independentemente da energia do feixe iônico. Filmes formados com assistência de feixe possuem qualidade superior àqueles formados por deposição física de vapor. O bombardeamento de íons Ar+ mostra-se capaz de controlar a concentração de hidrogênio, a estequiometria, a rugosidade, o tamanho dos grãos e a densidade dos lmes nos. Amostras com excelente qualidade baixa rugosidade, estequiometria próxima da ideal e boa densidade foram produzidas utilizando íons com energia dentre 300 eV e 600 eV.
id USP_271d964faf0b98fa9f184d7eba2f6ef4
oai_identifier_str oai:teses.usp.br:tde-03062017-212721
network_acronym_str USP
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository_id_str 2721
spelling Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônicoControlling aluminum oxide thin films properties through ion beam assistance.Al2O3Al2O3aluminaaluminaaluminum oxideanálise por feixe iônicocaracterização de lmes nosIABIABIBADIBADion assisted depositionion beam analysislmes nosóxido de alumíniothin lm characterizationthin lmsEste trabalho tem por objetivo a caracterização de filmes finos de óxido de alumínio produzidos por deposição assistida por feixe de íons Ar+. Tal caracterização consiste em estabelecer a relação entre os parâmetros de produção (energia do feixe e uxo relativo de Ar), a composição e a estrutura dos lmes. Para tanto, utiliza-se técnicas de microscopia de força atômica, difração de raios-x, reetividade de raios-x e análise por feixe iônico. Resultados mostram que amostras produzidas à temperatura ambiente e à 450 oC são amorfas independentemente da energia do feixe iônico. Filmes formados com assistência de feixe possuem qualidade superior àqueles formados por deposição física de vapor. O bombardeamento de íons Ar+ mostra-se capaz de controlar a concentração de hidrogênio, a estequiometria, a rugosidade, o tamanho dos grãos e a densidade dos lmes nos. Amostras com excelente qualidade baixa rugosidade, estequiometria próxima da ideal e boa densidade foram produzidas utilizando íons com energia dentre 300 eV e 600 eV.The scope of this work is the characterization of aluminum oxide thin films produced by Ar+ ion beam assisted deposition. This characterization consists in establishing the relationship between production parameters (ion beam energy and argon relative ux), structure and composition of these lms. In order to undertake this task, the following techniques were used: atomic force microscopy, x-ray diraction, x-ray reectivity and ion beam analysis. Results show that samples produced at room temperature and at 450 oC are amorphous regardless the ion beam energy. Films grown under ion assistance have better characteristics than the ones deposited by physical vapor deposition. The ion beam bombardment is capable of controlling hydrogen concentration, stoichiometry, roughness, grain size and density of alumina samples. High quality lms at surface and increased density lms with near ideal stoichiometry were produced with 300 eV and 600 eV ion beam energy.Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USPChubaci, Jose Fernando DinizSantos, Thales Borrely dos2017-04-28info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdfhttp://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USPinstname:Universidade de São Paulo (USP)instacron:USPLiberar o conteúdo para acesso público.info:eu-repo/semantics/openAccesspor2018-07-17T16:34:08Zoai:teses.usp.br:tde-03062017-212721Biblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://www.teses.usp.br/PUBhttp://www.teses.usp.br/cgi-bin/mtd2br.plvirginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.bropendoar:27212018-07-17T16:34:08Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)false
dc.title.none.fl_str_mv Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico
Controlling aluminum oxide thin films properties through ion beam assistance.
title Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico
spellingShingle Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico
Santos, Thales Borrely dos
Al2O3
Al2O3
alumina
alumina
aluminum oxide
análise por feixe iônico
caracterização de lmes nos
IAB
IAB
IBAD
IBAD
ion assisted deposition
ion beam analysis
lmes nos
óxido de alumínio
thin lm characterization
thin lms
title_short Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico
title_full Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico
title_fullStr Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico
title_full_unstemmed Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico
title_sort Controle de propriedades de filmes finos de óxido de alumínio através da assistência de feixe iônico
author Santos, Thales Borrely dos
author_facet Santos, Thales Borrely dos
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Chubaci, Jose Fernando Diniz
dc.contributor.author.fl_str_mv Santos, Thales Borrely dos
dc.subject.por.fl_str_mv Al2O3
Al2O3
alumina
alumina
aluminum oxide
análise por feixe iônico
caracterização de lmes nos
IAB
IAB
IBAD
IBAD
ion assisted deposition
ion beam analysis
lmes nos
óxido de alumínio
thin lm characterization
thin lms
topic Al2O3
Al2O3
alumina
alumina
aluminum oxide
análise por feixe iônico
caracterização de lmes nos
IAB
IAB
IBAD
IBAD
ion assisted deposition
ion beam analysis
lmes nos
óxido de alumínio
thin lm characterization
thin lms
description Este trabalho tem por objetivo a caracterização de filmes finos de óxido de alumínio produzidos por deposição assistida por feixe de íons Ar+. Tal caracterização consiste em estabelecer a relação entre os parâmetros de produção (energia do feixe e uxo relativo de Ar), a composição e a estrutura dos lmes. Para tanto, utiliza-se técnicas de microscopia de força atômica, difração de raios-x, reetividade de raios-x e análise por feixe iônico. Resultados mostram que amostras produzidas à temperatura ambiente e à 450 oC são amorfas independentemente da energia do feixe iônico. Filmes formados com assistência de feixe possuem qualidade superior àqueles formados por deposição física de vapor. O bombardeamento de íons Ar+ mostra-se capaz de controlar a concentração de hidrogênio, a estequiometria, a rugosidade, o tamanho dos grãos e a densidade dos lmes nos. Amostras com excelente qualidade baixa rugosidade, estequiometria próxima da ideal e boa densidade foram produzidas utilizando íons com energia dentre 300 eV e 600 eV.
publishDate 2017
dc.date.none.fl_str_mv 2017-04-28
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/
url http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03062017-212721/
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv
dc.rights.driver.fl_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.coverage.none.fl_str_mv
dc.publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
dc.source.none.fl_str_mv
reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
instname:Universidade de São Paulo (USP)
instacron:USP
instname_str Universidade de São Paulo (USP)
instacron_str USP
institution USP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)
repository.mail.fl_str_mv virginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.br
_version_ 1809090338585837568

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