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1
Isotopic tracing during rapid thermal growth of silicon oxynitride films on Si in O2, NH3, and N2O
por
Baumvol, Israel Jacob Rabin
Publicado em 1997
Outros Autores:
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Rigo
,
Serge
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2
Nitrogen transport during rapid thermal growth of silicon oxynitride films in N/sub 2/ O
por
Baumvol, Israel Jacob Rabin
Publicado em 1996
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“
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Rigo
,
Serge
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3
Incorporation of oxygen and nitrogen in ultrathin films of SiO/sub 2 annealed in NO
por
Baumvol, Israel Jacob Rabin
Publicado em 1998
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Rigo
,
Serge
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”
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4
The effects of ion implantation through very thin silicon oxide films
por
Baumvol, Israel Jacob Rabin
Publicado em 1994
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“
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Rigo
,
Serge
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Artigo
5
Limiting step involved in the thermal growth of silicon oxide films on silicon carbide
por
Vickridge, Ian
Publicado em 2002
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“
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Rigo
,
Serge
...
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Artigo
6
Dry oxidation mechanisms of thin dielectric films formed under n/sub 2/o using isotopic tracing methods
por
Ganem, Jean-Jacques
Publicado em 1996
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Rigo
,
Serge
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7
Diffusion of near surface defects during the thermal oxidation of silicon
por
Ganem, Jean-Jacques
Publicado em 1997
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,
Serge
...
”
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Artigo
8
Thermal growth of silicon oxynitride films on Si : a reaction-diffusion approach
por
Almeida, Rita Maria Cunha de
Publicado em 2004
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Rigo
,
Serge
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