TÉCNICA HÍBRIDA DE PLASMA PARA A DEPOSIÇÃO DE FILMES DE ALUMINA

Detalhes bibliográficos
Principais autores: Eduardo Silva Prado, EDUARDO SILVA PRADO
Data de Publicação: 2015
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
Texto Completo: https://sucupira.capes.gov.br/sucupira/public/consultas/coleta/trabalhoConclusao/viewTrabalhoConclusao.jsf?popup=true&id_trabalho=2422754
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Alumina films, PIIID, ion bombardment, sputtering, hardness, morphology and topography.
Filmes de alumina, PIIID, bombardeamento iônico, pulverização catódica, dureza, morfologia e topografia.
Eduardo Silva Prado
EDUARDO SILVA PRADO
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