Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: PILLIS, M.F.
Data de Publicação: 2014
Outros Autores: CHIARAMONTE, T., JOSSE COURTY, C., SANTOS, A.O. dos, CARDOSO, L.P., SACILOTTI, M., ENCONTRO E EXPOSICAO BRASILEIRA DE TRATMENTOS DE SUPERFICIE, 12.; INTERFINISH LATINO-AMERICANO, 2.
Tipo de documento: Artigo de conferência
Título da fonte: Repositório Institucional do IPEN
Texto Completo: http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/13780
id IPEN_57c29069b1859e6f136403fe88a2cec0
oai_identifier_str oai:repositorio.ipen.br:123456789/13780
network_acronym_str IPEN
network_name_str Repositório Institucional do IPEN
repository_id_str 4510
spelling 2014-11-17T17:25:53Z2014-11-18T17:36:49Z2015-04-02T02:41:49Z2014-11-17T17:25:53Z2014-11-18T17:36:49Z2015-04-02T02:41:49Z9-11 de maio, 2006http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/13780Made available in DSpace on 2014-11-17T17:25:53Z (GMT). No. of bitstreams: 0Made available in DSpace on 2014-11-18T17:36:49Z (GMT). No. of bitstreams: 1 15493.pdf: 464701 bytes, checksum: 87c858461a4a5c6677b5d2a609c3e372 (MD5)Made available in DSpace on 2015-04-02T02:41:49Z (GMT). No. of bitstreams: 1 15493.pdf: 464701 bytes, checksum: 87c858461a4a5c6677b5d2a609c3e372 (MD5)thin filmstitanium oxidestitanium nitridescoatingsthree-dimensional calculationssample preparationscanning electron microscopyx-ray diffractionCaracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVDinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/conferenceObjectEBRATSISao Paulo, SPPILLIS, M.F.CHIARAMONTE, T.JOSSE COURTY, C.SANTOS, A.O. dosCARDOSO, L.P.SACILOTTI, M.ENCONTRO E EXPOSICAO BRASILEIRA DE TRATMENTOS DE SUPERFICIE, 12.; INTERFINISH LATINO-AMERICANO, 2.info:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Institucional do IPENinstname:Instituto de Pesquisas Energéticas e Nucleares (IPEN)instacron:IPEN154932006PILLIS, M.F.10-08Anais7586324-1-136006329PILLIS, M.F.:758:32:SCHIARAMONTE, T.:6324:-1:NJOSSE COURTY, C.:-1:-1:NSANTOS, A.O. DOS:-1:-1:NCARDOSO, L.P.:3600:-1:NSACILOTTI, M.:6329:-1:NORIGINAL15493.pdfapplication/pdf464701http://repositorio.ipen.br/bitstream/123456789/13780/1/15493.pdf87c858461a4a5c6677b5d2a609c3e372MD51123456789/137802020-09-29 23:44:20.703oai:repositorio.ipen.br:123456789/13780Repositório InstitucionalPUBhttp://repositorio.ipen.br/oai/requestbibl@ipen.bropendoar:45102020-09-29T23:44:20Repositório Institucional do IPEN - Instituto de Pesquisas Energéticas e Nucleares (IPEN)false
dc.title.pt_BR.fl_str_mv Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD
title Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD
spellingShingle Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD
PILLIS, M.F.
thin films
titanium oxides
titanium nitrides
coatings
three-dimensional calculations
sample preparation
scanning electron microscopy
x-ray diffraction
title_short Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD
title_full Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD
title_fullStr Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD
title_full_unstemmed Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD
title_sort Caracterizacao de filmes finos de TiNO obtidos por MOCVD
author PILLIS, M.F.
author_facet PILLIS, M.F.
CHIARAMONTE, T.
JOSSE COURTY, C.
SANTOS, A.O. dos
CARDOSO, L.P.
SACILOTTI, M.
ENCONTRO E EXPOSICAO BRASILEIRA DE TRATMENTOS DE SUPERFICIE, 12.; INTERFINISH LATINO-AMERICANO, 2.
author_role author
author2 CHIARAMONTE, T.
JOSSE COURTY, C.
SANTOS, A.O. dos
CARDOSO, L.P.
SACILOTTI, M.
ENCONTRO E EXPOSICAO BRASILEIRA DE TRATMENTOS DE SUPERFICIE, 12.; INTERFINISH LATINO-AMERICANO, 2.
author2_role author
author
author
author
author
author
dc.contributor.author.fl_str_mv PILLIS, M.F.
CHIARAMONTE, T.
JOSSE COURTY, C.
SANTOS, A.O. dos
CARDOSO, L.P.
SACILOTTI, M.
ENCONTRO E EXPOSICAO BRASILEIRA DE TRATMENTOS DE SUPERFICIE, 12.; INTERFINISH LATINO-AMERICANO, 2.
dc.subject.por.fl_str_mv thin films
titanium oxides
titanium nitrides
coatings
three-dimensional calculations
sample preparation
scanning electron microscopy
x-ray diffraction
topic thin films
titanium oxides
titanium nitrides
coatings
three-dimensional calculations
sample preparation
scanning electron microscopy
x-ray diffraction
publishDate 2014
dc.date.evento.pt_BR.fl_str_mv 9-11 de maio, 2006
dc.date.accessioned.fl_str_mv 2014-11-17T17:25:53Z
2014-11-18T17:36:49Z
2015-04-02T02:41:49Z
dc.date.available.fl_str_mv 2014-11-17T17:25:53Z
2014-11-18T17:36:49Z
2015-04-02T02:41:49Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/conferenceObject
format conferenceObject
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/13780
url http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/13780
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.coverage.pt_BR.fl_str_mv I
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositório Institucional do IPEN
instname:Instituto de Pesquisas Energéticas e Nucleares (IPEN)
instacron:IPEN
instname_str Instituto de Pesquisas Energéticas e Nucleares (IPEN)
instacron_str IPEN
institution IPEN
reponame_str Repositório Institucional do IPEN
collection Repositório Institucional do IPEN
bitstream.url.fl_str_mv http://repositorio.ipen.br/bitstream/123456789/13780/1/15493.pdf
bitstream.checksum.fl_str_mv 87c858461a4a5c6677b5d2a609c3e372
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
repository.name.fl_str_mv Repositório Institucional do IPEN - Instituto de Pesquisas Energéticas e Nucleares (IPEN)
repository.mail.fl_str_mv bibl@ipen.br
_version_ 1767254221109854208

Registros relacionados