Caracterizaco de filmes de nitreto de titanio obtidos por MOCVD

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: FRANCO, A.C.
Data de Publicação: 2014
Outros Autores: ARAUJO, E.G. de, SACILOTTI, M., CONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 53.
Tipo de documento: Artigo de conferência
Título da fonte: Repositório Institucional do IPEN
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