Desenvolvimento de Aplicação para Visualização de Resultados Paramétricos de Wafers

• Autor(a) principal: Cunha, José Pedro Chaira Oliveira e
• Data de Publicação: 2023
• Tipo de documento: Dissertação
• Idioma: por
• Título da fonte: Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
• Texto Completo: http://hdl.handle.net/10400.22/24050
• topic: Semiconductors; Application; Wafer; Colour Gradient; Domínio/Área Científica::Engenharia e Tecnologia

A evolução da tecnologia tem contribuído para o desenvolvimento da sociedade e os semicondutores surgiram num contexto onde é possível produzir dispositivos eletrónicos cada vez mais pequenos e complexos. No processo produtivo de semicondutores, pode-se identificar as seguintes etapas: Crescimento do cristal de silício, corte e laminação de discos designados por wafers, limpeza para remover conta minantes, dopagem para modificar as propriedades elétricas, litografia para definir padrões dos circuitos, gravura para remover as camadas indesejadas, implantação iónica para ajustar as características elétricas e corte da wafer. No processo de fabrico de semicondutores, existem tarefas que têm de ser rea lizadas por engenheiros antes de seguirem para o cliente, como a análise de dados paramétricos obtidos nos teste das wafers. A análise, por norma, é feita através de wafermaps, que são representações gráficas usadas na indústria de semicondutores para visualizar e analisar resultados paramétricos, fornecendo uma representação visual dos chips individuais, chamados dies. Esse processo de análise manual por um engenheiro, onde tem que abrir um ficheiro de resultados, selecionar os parâmetros a analisar, introduzi-los num gráfico e depois efetuar um estudo analítico, pode-se tornar uma tarefa morosa e dispendiosa de recursos. Este trabalho aborda o desenvolvimento de uma aplicação que será usada na etapa de análise da dados paramétricos. O software tem como principal objetivo ajudar o engenheiro na deteção de falhas de fabrico de wafers. No processo de desenvolvimento da aplicação, foram realizadas várias iterações com a equipa de engenheiros, até que esta fosse de encontro ao pretendido pela equipa. Ao longo de todo o processo de criação da interface, todas as funcionalidades foram validades de forma a comprovar o seu correto funcionamento. Para avaliar a solução final, foi realizado um inquérito de usabilidade aos utilizadores da aplicação, a fim de compreender se a aplicação desenvolvida ia de encontro aos objetivos dos utilizadores da mesma. Por fim, pode-se concluir que a aplicação desenvolvida permite efetuar uma aná lise de dados paramétricos através do estudo de um gradiente de cores no formato de wafermap.