Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Gonçalves, L. M.
Data de Publicação: 2007
Outros Autores: Alpuim, P., Filonovich, Sergej, Viseu, T. M. R., Lanceros-Méndez, S.
Tipo de documento: Artigo
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Científico de Acesso Aberto de Portugal (Repositórios Cientìficos)
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