Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência
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Data de Publicação: | 1990 |
Tipo de documento: | Dissertação |
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Texto Completo: | https://hdl.handle.net/1884/36957 |
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Universidade Federal do Paraná. Setor de Ciências Exatas. Programa de Pós-Graduação em FísicaDumke, Vicente Roberto, 1940-Giles Antunez de Mayolo, Luis Felipe2024-03-20T17:58:32Z2024-03-20T17:58:32Z1990https://hdl.handle.net/1884/36957Orientador: Vicente Roberto DumkeDissertação (mestrado) - Universidade Federal do Paraná, Setor de Ciências Exatas, Programa de Pós-Graduação em FísicaResumo: A implantação de altas doses de 0+ em cristais de silicio monocristalino provoca mudanças estruturais nestes. Estas alterações são evidenciadas pelo inchamento das regiões implantadas. Estudando a topografia das superfícies através de observações por microscopia óptica de interferência, conseguimos mapear as variações nas superfícies implantadas. Constatou-se assim, que o inchamento destas últimas está diretamente relacionado com a presença de uma camada enterrada de SiO2 . Efetou-se também acompanhamentos da topografia das superfícies implantadas, submetidas a tratamentos térmicos sequenciais, que permitiu determinar comportamentos diferentes em função da dose de implantação.Abstract: The high dose O+ ion-implantation into monocrystal silicon produces structural changes. These alterations are evidenced by the swelling of the implanted area. The study of the surface topography by interference observations, permits to evaluate the expansion of the implanted regions. It is shown that the swelling of the implanted surface is strongly related with the presence of a buried Si 02 layer. It is also shown from the topographical observations of the implanted surface submitted to sequential thermal treatment, that the behaviour of these surfaces is oxygen dose dependent.[iv], vii, 86 f. : il. ; 30 cm.application/pdfDisponível em formato digitalEletroquímicaSilicioFísicaDeterminação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferênciainfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisporreponame:Repositório Institucional da UFPRinstname:Universidade Federal do Paraná (UFPR)instacron:UFPRinfo:eu-repo/semantics/openAccessORIGINALD - LUIS FELIPE GILES ANTUNEZ DE MAYOLO.pdfapplication/pdf7849100https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36957/1/D%20-%20LUIS%20FELIPE%20GILES%20ANTUNEZ%20DE%20MAYOLO.pdf9358b13cc471a0669b6a017981895dfbMD51open accessTEXTD - LUIS FELIPE GILES ANTUNEZ DE MAYOLO.pdf.txtExtracted Texttext/plain105092https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36957/2/D%20-%20LUIS%20FELIPE%20GILES%20ANTUNEZ%20DE%20MAYOLO.pdf.txt7539db141df32a0909c4c9bcc2d04d81MD52open accessTHUMBNAILD - LUIS FELIPE GILES ANTUNEZ DE MAYOLO.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1169https://acervodigital.ufpr.br/bitstream/1884/36957/3/D%20-%20LUIS%20FELIPE%20GILES%20ANTUNEZ%20DE%20MAYOLO.pdf.jpg22eef9b3b86e414f46b4b3817052f0abMD53open access1884/369572024-03-20 14:58:32.319open accessoai:acervodigital.ufpr.br:1884/36957Repositório de PublicaçõesPUBhttp://acervodigital.ufpr.br/oai/requestopendoar:3082024-03-20T17:58:32Repositório Institucional da UFPR - Universidade Federal do Paraná (UFPR)false |
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