Determinação de perfis em profundidade de impurezas implantadas através da técnica de microanálise eletrônica, EPMA

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Silva Junior, Agenor Hentz da
Data de Publicação: 2000
Outros Autores: Campos, Cristiani Silveira, Soares, Marcos Roberto Farias, Vasconcellos, Marcos Antonio Zen
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/79396
Resumo: 255
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